[發明專利]一種微電子機械系統的電容式氣壓傳感器

有效

• 申請號: 201310296888.3
• 申請日: 2013-07-16
• 公開（公告）號: CN103344377A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 聶萌;黃慶安
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種微電子機械系統的電容式氣壓傳感器，其特征在于，該氣壓傳感器包括襯底（8）、鍵合層（9）、電容下極板（2）、電容上極板（1）、絕緣層（3）、加熱電阻條（4）、上電極電引出（5）、下電極電引出（6）和兩個加熱電阻條電引出（7）；

襯底（8）固定連接在鍵合層（9）的上表面，襯底（8）的底面設有真空腔（10），電容下極板（2）固定連接在鍵合層（9）的上表面，且電容下極板（2）位于真空腔（10）中，電容上極板（1）為位于真空腔（10）頂面正上方的襯底（8），電容上極板（1）為可動感壓薄膜，電容上極板（1）與電容下極板（2）相對，絕緣層（3）固定連接在襯底（8）的上表面，且絕緣層（3）覆蓋了電容上極板（1），加熱電阻條（4）固定連接在絕緣層（3）的上表面，且加熱電阻條（4）位于電容上極板（1）的正上方，加熱電阻條（4）的兩個加熱電阻條電引出（7）固定連接在襯底（8）的上表面，且每個加熱電阻條電引出（7）和加熱電阻條（4）的一端連接；上電極電引出（5）和下電極電引出（6）分別位于襯底（8）上，且上電極電引出（5）與電容上極板（1）連接，下電極電引出（6）與電容下極板（2）連接。

2.按照權利要求1所述的微電子機械系統電容式氣壓傳感器，其特征在于，所述的加熱電阻條（4）呈鋸齒形。