[發明專利]一種多晶硅鑄錠退火與冷卻技術無效
| 申請號： | 201310296409.8 | 申請日： | 2013-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN103343391A | 公開（公告）日： | 2013-10-09 |
| 發明（設計）人： | 冷金標;鄭新華 | 申請（專利權）人： | 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332005 江西省九江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 鑄錠 退火 冷卻 技術 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅鑄錠退火與冷卻技術，其特征在于，所述退火工藝是在真空的環境下進行；所述冷卻采用高效冷卻保壓技術，所述保壓為進入冷卻階段，爐體不進氣、不出氣，保持600mbar的恒壓狀態，直到鑄錠工藝流程結束。
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