[發明專利]柔性觸摸屏及其制作方法有效
| 申請號： | 201310296023.7 | 申請日： | 2013-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN103345337A | 公開（公告）日： | 2013-10-09 |
| 發明（設計）人： | 廖亮飛;李一峰;楊利平;桂政興;王春平;孫官恩;羅成文;王戰娥 | 申請（專利權）人： | 深圳南玻顯示器件科技有限公司 |
| 主分類號： | G06F3/041 | 分類號： | G06F3/041;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 鄧云鵬 |
| 地址： | 518000 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柔性 觸摸屏 及其 制作方法 | ||
1.一種柔性觸摸屏，包括柔性基材、設在所述柔性基材上的透明導電膜及與所述透明導電膜電連接的電極引線，其特征在于，所述電極引線包括與所述透明導電膜電連接的銅引線及設在所述銅引線上的銅鎳合金保護膜。
2.如權利要求1所述的柔性觸摸屏，其特征在于，所述柔性基材的材料為聚對苯二甲酸乙二醇酯。
3.如權利要求1所述的柔性觸摸屏，其特征在于，所述透明導電膜為透明ITO導電膜。
4.如權利要求1或3所述的柔性觸摸屏，其特征在于，所述透明導電膜的厚度為20～30nm。
5.如權利要求1所述的柔性觸摸屏，其特征在于，所述銅引線的厚度為150～200nm。
6.如權利要求1所述的柔性觸摸屏，其特征在于，所述銅鎳合金保護膜中銅的質量百分數為90%。
7.如權利要求1或6所述的柔性觸摸屏，其特征在于，所述銅鎳合金保護膜的厚度為15～25nm。
8.一種柔性觸摸屏的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：
在柔性基材上濺射制備透明導電膜；
在制備好的含有所述透明導電膜的柔性基材上濺射制備與所述透明導電膜電連接的銅膜；
在所述銅膜上濺射制備銅鎳合金薄膜；
采用光刻工藝刻蝕所述純銅膜及所述銅鎳合金薄膜，得到銅引線及設在所述銅引線上的銅鎳合金保護膜。
9.如權利要求8所述的柔性觸摸屏的制作方法，其特征在于，所述銅鎳合金保護膜中銅的質量百分數為90%。
10.如權利要求8或9所述的柔性觸摸屏的制作方法，其特征在于，所述柔性基材的材料為聚對苯二甲酸乙二醇酯；所述透明導電膜為透明ITO導電膜，所述透明導電膜的厚度為20～30nm；所述銅引線的厚度為150～200nm；所述銅鎳合金保護膜的厚度為15～25nm。
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