[發(fā)明專利]基板移送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310295798.2
• 申請日: 2013-07-15
• 公開（公告）號: CN104071573B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭贊洙
• 申請（專利權(quán)）人: 昌晟株式會社
• 主分類號: B65G47/92
• 分類號: B65G47/92;B65G49/07;H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11002
• 代理人: 謝順星,張晶

1.一種基板移送裝置，包括：內(nèi)側(cè)留有基板（P）容納空間的架子（10）、安裝于所述架子（10）空間的上下邊緣位置以把持基板（P）的多數(shù)夾具（20），其特征在于，所述夾具（20）由安裝在架子（10）端部的固定夾具（21）和通過軸承Block（23）進(jìn)行轉(zhuǎn)動的安裝在架子（10）上的啟動夾具（22）、安裝在架子（10）一側(cè)的第一磁體（25）、和所述第一磁體（25）相對；安裝在啟動夾具（22）一側(cè)的第二次體（26）組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，第一磁體（25）安裝在啟動夾具（22）上端部所在的架子（10）的一側(cè)，第二磁體（26）和所述第一磁體（25）相對，并安裝于啟動夾具（22）的上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板移送裝置，其特征在于，在啟動夾具（22）的施壓口（22b）壓縮到固定夾具（21）把持部位的狀態(tài)下，第一磁體（25）和第二磁體（26）靠近放置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，啟動夾具（22）以中孔（22）為基準(zhǔn)，下端部在架子（10）的一側(cè)面和固定夾具（21）的把持部位相對，上端部貫穿架子（10）上形成的長孔，以對向面置于上方位置，啟動夾具（22）的下端位置形成圓錐形的施壓口（22b），上端位置安裝了可轉(zhuǎn)動的施壓輪（24）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板移送裝置，其特征在于，在施壓口（22b）所在的啟動夾具（22）對向側(cè)端部插上軸桿（41）來連接多數(shù)啟動夾具（22），在所述軸桿（41）上安裝施壓輪（40）。