[發明專利]有機物沉積裝置

在審

• 申請號: 201310292706.5
• 申請日: 2013-07-12
• 公開（公告）號: CN103789731A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 金學民
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;H05B33/10;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 齊葵;周艷玲

技術領域

本發明涉及一種有機物沉積裝置，更為詳細地涉及一種通過蒸發法在基板上沉積有機物的有機物沉積裝置。

背景技術

在制造有機電致發光顯示裝置時普遍使用有機物沉積裝置。例如，所述有機電致發光顯示裝置可包括陽極、陰極和設置在這兩個電極之間的空穴注入層、空穴傳輸層、有機發光層、電子傳輸層及電子注入層。此時，可通過所述有機物沉積裝置在基板上沉積有機物，從而形成所述空穴注入層、所述空穴傳輸層、所述有機發光層、所述電子傳輸層及所述電子注入層。

另外，一般來講在基板上沉積有機物時普遍使用蒸發法（evaporation）。根據所述蒸發法，在腔室內配置有用于加熱有機物使之蒸發的沉積源，而且在基板上沉積通過所述沉積蒸發的有機物。然而，所述蒸發法需要在所述腔室的內部空間配置所述基板及掩模，因此由于所述基板及所述掩模的荷載，可能會導致所述掩模外形的變形。所以，隨著所述基板大小的增加，所述問題會更加嚴重，為此正在研究解決該問題的諸多方法。

發明內容

本發明的目的是提供一種有機物沉積裝置，該裝置在基板上有效地沉積有機物，從而更加適合于批量生產。

為了實現本發明的所述目的，本發明的有機物沉積裝置包括工藝腔室、第一輸送軌道、第二輸送軌道、至少一個掩模組合體、至少一個基板組合體及至少一個沉積源。

所述第一輸送軌道及所述第二輸送軌道分別配置在所述工藝腔室的內部，所述第二輸送軌道與所述第一輸送軌道隔開并配置在所述第一輸送軌道的上部。所述掩模組合體與所述第一輸送軌道結合并沿所述第一輸送軌道輸送，所述基板組合體與所述基板及所述第二輸送軌道結合并沿所述第二輸送軌道輸送。而且，所述沉積源配置在所述工藝腔室的內部并向所述掩模組合體及所述基板組合體側提供所述有機物。

根據本發明的有機物沉積裝置，配置有基板的基板組合體與配置有掩模的掩模組合體隔開，因此在所述基板上沉積有機物時，所述掩模不會受到所述基板的荷載，故能夠防止因所述荷載所致的所述掩模外形的變形。所以，使用所述有機物沉積裝置能夠更加容易地在大型基板上沉積有機物。

而且，根據本發明的有機物沉積裝置，在一個工藝腔室內可配置彼此相同或不同的多個沉積源、多個基板組合體及多個掩模組合體，因此能夠對配置在所述多個基板組合體的多個基板同時沉積彼此相同或彼此不同的有機物。因此能夠縮短有機物沉積工序所需的時間，而且能夠更加有效地實現在沉積有機物時所需的裝置結構。

附圖說明

圖1是本發明的第一實施例的有機物沉積裝置的剖視圖。

圖2是圖1所示工藝腔室內部的局部放大立體圖。

圖3a是圖2所示掩模組合體的分解立體圖。

圖3b是圖2所示基板組合體的分解立體圖。

圖4是本發明的另一實施例的有機膜沉積裝置的剖視圖。

圖5是圖4所示掩模組合體的分解立體圖。

圖6是本發明的又一實施例的有機物沉積裝置的剖視圖。

圖7是本發明的又一實施例的有機物沉積裝置的剖視圖。

符號說明

10：掩模組合體??????50：基板組合體

OM：開放掩模????????PM：構圖掩模

MC：掩模載體????????SB：基板

CK：夾緊部件????????SC：基板載體

RL1：第一輸送軌道???RL2：第二輸送軌道

PC：工藝腔室????????C1：第一輔助腔室

C2：第二輔助腔室????DR1：送入口

DR2：送出口?????????SR：傳感部

S1：第一沉積源??????100：有機物沉積裝置

具體實施方式

下面參照附圖詳細說明本發明的實施例。通過與附圖相關的實施例能夠容易理解本發明的所述目的、特征及效果。但是，本發明并不局限于在此說明的實施例，可以以多種形態應用變形。反而，將在后面描述的本發明的實施例是為了更加明確地說明本發明公開的技術思想進而為了向本發明所屬領域中具有平均知識的技術人員充分地傳遞本發明技術思想而提供的。因此，本發明的范圍不應解釋為僅局限于以下實施例。另外，在以下實施例和附圖中的相同的附圖標記表示相同的結構要素。

圖1是本發明的第一實施例的有機物沉積裝置的剖視圖，圖2是圖1所示工藝腔室內部的局部放大立體圖。