[發明專利]一種帶低溫泵的表面分析系統

無效

• 申請號: 201310291315.1
• 申請日: 2013-07-11
• 公開（公告）號: CN103383322A
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 許令順;武義鋒;徐中堂;仰葉;周家屹
• 申請（專利權）人: 安徽萬瑞冷電科技有限公司
• 主分類號: G01N1/42
• 分類號: G01N1/42
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種帶低溫泵的表面分析系統，包括有真空腔體，真空腔體上安裝有樣品架，所述樣品架中心豎直安裝有直管，直管底端從真空腔體頂部伸入真空腔體內，且直管底端安裝有方形銅塊，銅塊的底部設為安裝樣品的安裝面，其特征在于：還包括由泵體和制冷機構成的低溫泵，所述低溫泵的泵體安裝在真空腔體底部，制冷機安裝在泵體側部，泵體中設置有吸附陣，所述制冷機的二級冷頭與泵體中的吸附陣側部接觸以冷卻吸附陣，所述銅塊底部連接有多根銅絲組成的銅導線，銅導線另一端分別連接至泵體中的吸附陣上。

2.根據權利要求1所述的一種帶低溫泵的表面分析系統，其特征在于：所述銅塊與直管底端之間設置有絕緣樹脂材料層。