[發明專利]一種高精度硅微諧振式壓力傳感器接口電路

有效

• 申請號: 201310291280.1
• 申請日: 2013-07-12
• 公開（公告）號: CN103592061A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 苑偉政;孫小東;任森;王偉康
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G01L1/10
• 分類號: G01L1/10;G01L9/00
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 呂湘連

1.一種高精度硅微諧振式壓力傳感器接口電路，包括載波發生器（1）、驅動信號發生器（2）、跨阻放大器（6）、檢測端（5）、高通濾波器（7）、解調器（8）、低通濾波器（9）和儀表放大器（10）；載波發生器（1）在微諧振器（4）上加高頻載波v_i，同時驅動信號發生器（2）產生驅動信號v_d加在諧振器驅動端（3）驅動諧振器（4）振動，振動產生的低頻差分有用信號被調制到高頻，兩個跨阻放大器（6）將檢測端（5）輸出的兩個差分交變電流信號轉變成電壓信號u(t)＝R(C₀±ΔC)v_i+RC₁v_d，其中C₀為諧振器與檢測端的固定電容，ΔC為諧振器振動產生的交變有用電容，C₁為驅動端與檢測端的耦合電容，R為跨阻放大器（6）跨接的電阻；高通濾波器（7）濾除耦合低頻信號RC₁v_d，保留有用調制信號，解調器（8）將調制信號解調，低通濾波器（9）將解調后的高頻信號濾除，保留低頻有用信號，儀表放大器（10）將差分有用信號轉成單端信號并放大。