[發明專利]氣體傳感器用聲表面波敏感器件

有效

• 申請號: 201310290659.0
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN103336051A
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發明（設計）人: 杜波;馬晉毅;江洪敏;楊靖
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: G01N29/02
• 分類號: G01N29/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其包括一個襯底、一個第一雙端聲表面波諧振器、一個與該第一雙端聲表面波聲諧振器的諧振頻率不同的第二雙端聲表面波諧振器，其特征在于：

該襯底包括一個第一表面和一個與該第一表面相對設置的第二表面；該第一雙端聲表面波諧振器設置在該第一表面，該二雙端聲表面波諧振器設置在該第二表面；該第一雙端聲表面波諧振器和該第二雙端聲表面波諧振器具有一個交疊區域。

2.根據權利要求1所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：

該交疊區域的大小與該第一雙端聲表面波諧振器和該第二雙端聲表面波諧振器所占面積較小的一個的面積相同。

3.根據權利要求1或2所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：該第一雙端聲表面波諧振器包括兩個第一叉指換能器，該第二雙端聲表面波諧振器包括兩個第二叉指換能器；該兩個第一叉指換能器之間的距離大于200倍的聲表面波波長；該兩個第二叉指換能器之間的距離大于200倍的聲表面波波長。

4.根據權利要求3所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：該第一雙端聲表面波諧振器還包括兩個第一反射柵，該第二雙端聲表面波諧振器還包括兩個第二反射柵；該兩個第一叉指換能器位于該兩個第一反射柵之間，該兩個第二叉指換能器位于該兩個第二反射柵之間。

5.根據權利要求4所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：該氣體傳感器用聲表面波敏感器件還包括一層沉積于該第一雙端聲表面波諧振器和該第一表面上的吸附膜。

6.根據權利要求5所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：該氣體傳感器用聲表面波敏感器件還包括一層沉積于該第一雙端聲表面波諧振器上并且位于該吸附膜與該第一雙端聲表面波諧振器之間的第一鈍化膜。

7.根據權利要求6所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：該第一表面上未被該第一雙端聲表面波諧振器覆蓋的區域有該第一鈍化膜；該第一鈍化膜被該吸附層覆蓋。

8.根據權利要求5所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：該氣體傳感器用聲表面波敏感器件還包括一層第二鈍化膜，該第二鈍化膜覆蓋該第二雙端聲表面波諧振器及該第二表面。

9.根據權利要求8所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：該第一鈍化膜和該第二鈍化膜為二氧化硅或氮化硅。

10.根據權利要求8所述的氣體傳感器用聲表面波敏感器件，其特征在于：每個第二叉指換能器包括兩個相對平行設置的匯流條以及多個位于該兩個匯流條之間的指條，該第二鈍化膜覆蓋該多個指條及該第二反射柵；該氣體傳感器用聲表面波敏感器件還包括電連接用焊盤，該焊盤通過銀漿與該第二叉指換能器的匯流條電連接。