[發(fā)明專利]一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310290647.8
• 申請(qǐng)日: 2013-07-11
• 公開（公告）號(hào): CN103389625A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅新;陳文昱;張志杰;楊凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;H04L29/06
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：浸液液體傳送系統(tǒng)包括作為服務(wù)器的控制分系統(tǒng)，作為客戶端的水處理分系統(tǒng)、傳輸控制分系統(tǒng)及位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)；控制分系統(tǒng)與水處理分系統(tǒng)、傳輸控制分系統(tǒng)及位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)之間構(gòu)建形成網(wǎng)絡(luò)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，且采用以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)據(jù)交換；采用服務(wù)器/客戶端模式，在控制分系統(tǒng)與水處理分系統(tǒng)、傳輸控制分系統(tǒng)及位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)之間建立虛擬通訊關(guān)系，為每對(duì)虛擬通訊關(guān)系建立一條虛擬通訊鏈路，每條虛擬通訊鏈路維護(hù)物理上的一對(duì)節(jié)點(diǎn)的會(huì)話。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：所述的通訊方法的實(shí)現(xiàn)是多個(gè)系統(tǒng)之間或一個(gè)系統(tǒng)的多個(gè)模塊之間通訊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：所述的以太網(wǎng)協(xié)議采用TCP/IP或UDP/IP協(xié)議。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：所述的虛擬通訊關(guān)系是通過創(chuàng)建套接字來收發(fā)報(bào)文以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：所述的虛擬通訊鏈路維護(hù)物理上的一對(duì)節(jié)點(diǎn)的會(huì)話包括以下步驟：

（1）采用服務(wù)器/客戶端模式，控制分系統(tǒng)為服務(wù)器，水處理分系統(tǒng)、傳輸控制分系統(tǒng)及位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)為客戶端；

（2）服務(wù)器創(chuàng)建套接字，并對(duì)其初始化；

（3）服務(wù)器開始監(jiān)聽客戶端的連接請(qǐng)求；

（4）客戶端創(chuàng)建套接字，初始化后向服務(wù)器請(qǐng)求連接；

（5）服務(wù)器接收到客戶端的連接請(qǐng)求后，驗(yàn)證其IP地址，若為已知IP地址，則接受請(qǐng)求，若為未知IP地址，則拒絕請(qǐng)求；

（6）當(dāng)服務(wù)器與客戶端成功連接后，虛擬通訊鏈路打開，服務(wù)器與客戶端實(shí)現(xiàn)雙向數(shù)據(jù)收發(fā)；

（7）當(dāng)客戶端關(guān)機(jī)時(shí)，需要關(guān)閉虛擬通訊鏈路，客戶端向服務(wù)器發(fā)送斷開信號(hào)，然后雙方關(guān)閉套接字，斷開虛擬通訊鏈路，結(jié)束通訊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：所述的虛擬通訊鏈路不僅能實(shí)現(xiàn)報(bào)文數(shù)據(jù)的傳輸，還能實(shí)現(xiàn)文件的傳輸。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：所述的虛擬通訊鏈路能在虛擬通訊關(guān)系意外斷開時(shí)進(jìn)行重新連接，或重新連接失敗時(shí)進(jìn)行報(bào)警。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)中浸液液體傳送系統(tǒng)的通訊方法，其特征在于：所述的每條虛擬通訊鏈路都有對(duì)報(bào)文數(shù)據(jù)進(jìn)行算法校驗(yàn)的模塊。