[發(fā)明專(zhuān)利]帶擴(kuò)張裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310290007.7
• 申請(qǐng)日: 2013-07-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103545238A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高澤徹
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于擴(kuò)張粘貼有晶片的粘接帶從而對(duì)晶片施加外力的帶擴(kuò)張裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件制造工序中，在為大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的表面由排列為格子狀的稱(chēng)為間隔道的分割預(yù)定線(xiàn)劃分出多個(gè)區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域中形成IC（集成電路）、LSI（大規(guī)模集成電路）等器件。然后，沿著間隔道來(lái)切斷半導(dǎo)體晶片由此分割形成有器件的區(qū)域從而制造出一個(gè)個(gè)器件。另外，對(duì)于在藍(lán)寶石基板的表面層疊有氮化鎵系化合物半導(dǎo)體等的光器件晶片，也沿著預(yù)定的分割預(yù)定線(xiàn)來(lái)切斷，從而分割出一個(gè)個(gè)發(fā)光二極管、激光二極管等光器件，并廣泛利用到電氣設(shè)備。

作為分割上述的半導(dǎo)體晶片或光器件晶片等被加工物的方法，以下方法被實(shí)用化：使用相對(duì)于被加工物具有透射性的波長(zhǎng)的脈沖激光光線(xiàn)，將聚光點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)到應(yīng)該分割的區(qū)域的內(nèi)部來(lái)進(jìn)行照射，在該被加工物的內(nèi)部沿著間隔道連續(xù)地形成改性層，沿著由于形成該改性層而強(qiáng)度降低的間隔道施加外力，由此分割被加工物（例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1）。

并且，作為沿著由于形成有改性層而強(qiáng)度降低的間隔道施加外力的技術(shù)，以下技術(shù)記載于下述專(zhuān)利文獻(xiàn)2：擴(kuò)張粘貼有晶片的粘接帶，然后，在擴(kuò)張了粘接帶的狀態(tài)下將環(huán)狀的框架?chē)@分割成一個(gè)個(gè)器件的晶片地粘貼到粘接帶。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本專(zhuān)利第3408805號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2006-229021號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

然而，記載于上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2的對(duì)粘貼有晶片的粘接帶進(jìn)行擴(kuò)張的技術(shù)存在以下問(wèn)題：由于是夾持粘接帶的對(duì)置的兩邊進(jìn)行拉伸的方法，所以正交的兩邊縮小，從而使粘貼在粘接帶且分割成一個(gè)個(gè)的器件受到損傷。并且還存在以下問(wèn)題：在夾持了正交的兩邊的狀態(tài)下拉伸對(duì)置的兩邊時(shí)，粘接帶沒(méi)有充分?jǐn)U張。

本發(fā)明是鑒于上述事實(shí)做出的發(fā)明，其主要技術(shù)課題在于提供帶擴(kuò)張裝置，其能夠夾持粘接帶的對(duì)置的兩邊進(jìn)行拉伸，即使擴(kuò)張粘接帶，正交的兩邊也不會(huì)縮小，并且即使在夾持了正交的兩邊的狀態(tài)下也能夠充分?jǐn)U張粘接帶。

為了解決上述主要技術(shù)課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種擴(kuò)張矩形形狀的帶的帶擴(kuò)張裝置，上述帶擴(kuò)張裝置的特征在于，其具有：第1夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的第1邊；第2夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與上述第1邊對(duì)置的第2邊；第3夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與上述第1邊以及上述第2邊正交的第3邊；第4夾持構(gòu)件，其用于夾持帶的與上述第3邊對(duì)置的第4邊；以及擴(kuò)張構(gòu)件，其用于使上述第1夾持構(gòu)件、上述第2夾持構(gòu)件、上述第3夾持構(gòu)件、以及上述第4夾持構(gòu)件分別在相對(duì)于夾持的各邊正交的方向移動(dòng)，上述第1夾持構(gòu)件、上述第2夾持構(gòu)件、上述第3夾持構(gòu)件、以及上述第4夾持構(gòu)件分別具有下側(cè)夾持部件和上側(cè)夾持部件，在上述下側(cè)夾持部件的上表面配設(shè)有在沿著夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)樱谏鲜錾蟼?cè)夾持部件的下表面配設(shè)有在沿著夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)印?/p>

發(fā)明效果

在根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置中，由于第1夾持構(gòu)件、第2夾持構(gòu)件、第3夾持構(gòu)件、以及第4夾持構(gòu)件分別具有下側(cè)夾持部件和上側(cè)夾持部件，在下側(cè)夾持部件的上表面配設(shè)有在沿著夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)樱谏蟼?cè)夾持部件的下表面配設(shè)有在沿著夾持的邊的方向旋轉(zhuǎn)的多個(gè)輥?zhàn)樱岳缭趭A持粘接帶的第3邊以及第4邊進(jìn)行擴(kuò)張時(shí)，即使利用夾持與第3邊以及第4邊正交的第1邊以及第2邊的第1夾持構(gòu)件以及第2夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持部件以及上側(cè)夾持部件來(lái)進(jìn)行夾持，由于配設(shè)于下側(cè)夾持部件以及上側(cè)夾持部件的多個(gè)輥?zhàn)有D(zhuǎn)，所以能夠充分地?cái)U(kuò)張粘接帶。另外，在夾持粘接帶的第1邊以及第2邊進(jìn)行擴(kuò)張時(shí)，即使利用夾持與第1邊以及第2邊正交的第3邊以及第4邊的第3夾持構(gòu)件以及第4夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持部件以及上側(cè)夾持部件來(lái)進(jìn)行夾持，由于配設(shè)于下側(cè)夾持部件以及上側(cè)夾持部件的多個(gè)輥?zhàn)有D(zhuǎn)，所以能夠充分地?cái)U(kuò)張粘接帶。

附圖說(shuō)明

圖1是根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的帶擴(kuò)張裝置的立體圖。

圖2是放大表示構(gòu)成圖1所示的帶擴(kuò)張裝置的夾持構(gòu)件的下側(cè)夾持部件以及上側(cè)夾持部件的主要部分的正面圖。

圖3是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來(lái)實(shí)施的帶夾持工序的說(shuō)明圖。

圖4是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來(lái)實(shí)施的第1帶擴(kuò)張工序的說(shuō)明圖。

圖5是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來(lái)實(shí)施的第2帶擴(kuò)張工序的說(shuō)明圖。

圖6是表示粘貼在實(shí)施了第1帶擴(kuò)張工序以及第2帶擴(kuò)張工序的粘接帶上的分割為一個(gè)一個(gè)的器件的狀態(tài)的說(shuō)明圖。

圖7是使用圖1所示的帶擴(kuò)張裝置來(lái)實(shí)施的框架安裝工序的說(shuō)明圖。