[發明專利]一種用屏幕膜和覆膜機疊加轉移大面積石墨烯的方法

有效

• 申請號: 201310289987.9
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN103332682A
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發明（設計）人: 呂鵬;張梓晗
• 申請（專利權）人: 合肥微晶材料科技有限公司
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101
• 代理人: 何梅生

1.一種用屏幕膜和覆膜機疊加轉移大面積石墨烯的方法，其特征在于按如下步驟進行：

a、將上表面生長有石墨烯的銅箔剪裁至面積不大于100cm×100cm，將面積不小于所述銅箔的屏幕膜覆蓋在所述銅箔的上表面；用覆膜機的滾軸在所述屏幕膜上加壓，使屏幕膜粘附在銅箔上表面的石墨烯上，形成銅箔/石墨烯/屏幕膜的復合結構；

b、將所述銅箔/石墨烯/屏幕膜的復合結構以所述屏幕膜朝上放入銅箔刻蝕液中刻蝕，去除銅箔基底，形成漂浮在銅箔刻蝕液表面的石墨烯/屏幕膜的復合層；然后將所述石墨烯/屏幕膜的復合層轉移到去離子水中清洗并在室溫下自然晾干，晾干時間不少于10分鐘；

c、將石墨烯/屏幕膜的復合層以石墨烯朝下放在目標基底上，將覆膜機加熱到120℃-160℃，用覆膜機的滾軸將石墨烯/屏幕膜的復合層和目標基底滾壓在一起，石墨烯與屏幕膜分離并轉移到目標基底上，調整覆膜機的滾軸速度使滾壓過程的時間為20-100秒；

d、以轉移有一層石墨烯的目標基底作為第二次轉移的目標基底，重復步驟a、b和c，在目標基底的一層石墨烯上覆蓋第二層石墨烯，依次類推，直至在目標基底上轉移n層石墨烯，n不大于15。

2.根據權利要求1所述的用屏幕膜和覆膜機疊加轉移大面積石墨烯的方法，其特征在于：所述覆膜機為硅膠滾軸的覆膜機或硅膠滾軸的塑封機。

3.根據權利要求1所述的用屏幕膜和覆膜機疊加轉移大面積石墨烯的方法，其特征在于：所述銅箔刻蝕液為質量濃度為1%-20%的過硫酸銨的水溶液。

4.根據權利要求1所述的用屏幕膜和覆膜機疊加轉移大面積石墨烯的方法，其特征在于：所述目標基底為氧化硅基底、硅基底、PET基底或玻璃基底。