[發明專利]偵測裝置及偵測方法

有效

• 申請號: 201310288576.8
• 申請日: 2013-07-11
• 公開（公告）號: CN103558188A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 林子建
• 申請（專利權）人: 福建華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號: G01N21/49
• 分類號: G01N21/49
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

1.一種偵測裝置，適于偵測一光異向性樣本的分子排列方向，其特征在于該偵測裝置包括：

一線性偏振光源，提供一線性偏振光；

一旋轉單元，用以使照射于該光異向性樣本的該線性偏振光的偏振方向在該光異向性樣本的被照射平面上旋轉，且該光異向性樣本反射該線性偏振光以產生一反射光；

一光偵測器，配置于該反射光的傳遞路徑上，并偵測該反射光的強度；?

一處理單元，根據該光偵測器所偵測到的該反射光的強度變化計算出該光異向性樣本的分子排列方向；以及

一分光單元，配置于該線性偏振光的傳導路徑上，該分光單元使部分該線性偏振光穿透，并使另一部分的該線性偏振光反射。

2.?根據權利要求1所述的偵測裝置，其特征在于：更包括一相位延遲片，配置于穿透該分光單元的該線性偏振光的傳遞路徑上，該相位延遲片的一快軸透過該旋轉單元的操作而旋轉。

3.?根據權利要求2所述的偵測裝置，其中該旋轉單元為一旋轉鏡座，該相位延遲片配置于該旋轉單元上，該旋轉單元帶動該相位延遲片旋轉以改變該線性偏振光的偏振方向。

4.?根據權利要求3所述的偵測裝置，其特征在于：其中該線性偏振光源包括：

一發光單元，提供一光束；以及

一線性偏振單元，配置于該光束的傳遞路徑上，該光束通過該線性偏振單元而形成該線性偏振光。

5.?根據權利要求4所述的偵測裝置，其特征在于：其中該線性偏振光的該偏振方向與該光異向性樣本的該被照射平面上的一參考軸的夾角為θ，而該光異向性樣本的分子排列方向與該參考軸的夾角為A，該反射光的反射率R滿足下式：

其中，n_e代表該光異向性樣本在該光異向性樣本的分子排列方向上的折射率，n₀代表該光異向性樣本在垂直于該光異向性樣本的分子排列方向上的折射率。

6.?根據權利要求4所述的偵測裝置，其特征在于：更包括一孔徑光闌，配置于該分光單元與該光偵測器之間，至少部分該反射光通過該孔徑光闌而傳遞至該光偵測器。

7.?根據權利要求2所述的偵測裝置，其特征在于：其中該相位延遲片為一二分之一波片。

8.?根據權利要求2所述的偵測裝置，其特征在于：其中該相位延遲片的可旋轉角度范圍為180度的整數倍。

9.?根據權利要求1所述的偵測裝置，其特征在于：其中該線性偏振光源為一雷射光源。

10.?一種偵測方法，適于偵測一光異向性樣本的分子排列方向，其特征在于；該偵測方法包括進行一照射與偵測流程、進行一旋轉流程、進行一統計流程以及進行一分析流程，該照射與該偵測流程包括將一線性偏振光照射于該光異向性樣本上，并接收該光異向性樣本反射該線性偏振光的一反射光，該旋轉流程包括使該線性偏振光的偏振方向在該光異向性樣本的一被照射平面上旋轉一旋轉角度，該統計流程包括在對該光異向性樣本重復地進行該照射與偵測流程以及該旋轉流程之后，統計該光異向性樣本的該反射光的強度與該旋轉角度的一變化關系，并且該分析流程包括藉由上述變化關系，推算光異向性樣本的分子排列方向。

11.?根據權利要求10所述的偵測方法，其特征在于：其中該線性偏振光的該偏振方向與平行于該光異向性樣本的一被照射平面上的一軸的夾角為θ，而該光異向性樣本的分子排列方向與該被照射平面上的該軸的夾角為A，該反射光的反射率R的該變化關系滿足下式：

其中，n_e代表該光異向性樣本在該光異向性樣本的分子排列方向上的折射率，n₀代表該光異向性樣本在垂直于該光異向性樣本的分子排列方向上的折射率。

12.?根據權利要求11所述的偵測方法，其特征在于：其中使該線性偏振光的偏振方向在該光異向性樣本的該被照射平面上旋轉該旋轉角度的流程更包括使配置于該線性偏振光傳導路徑上的一相位延遲片旋轉以改變該線性偏振光照射于該光異性向樣本的該被照射平面上的偏振方向。

13.?根據權利要求12所述的偵測方法，其特征在于：更包括將一分光單元配置于該線性偏振光的傳導路徑上，并使該分光單元將該線性偏振光與該反射光的光線路徑分開；以及

使這些該反射光在通過一孔徑光闌后被一光偵測器偵測。