[發(fā)明專(zhuān)利]MEMS麥克風(fēng)及其工作控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310288098.0
• 申請(qǐng)日: 2013-07-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103402160A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟珍奎
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H04R19/04
• 分類(lèi)號(hào): H04R19/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種MEMS麥克風(fēng)，其包括MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS芯片和ASIC芯片電連接，其特征在于：所述MEMS芯片設(shè)有第一振膜、第二振膜以及背板，所述背板設(shè)置于第一振膜和第二振膜之間，所述第一振膜和第二振膜分別與所述背板間隔設(shè)置構(gòu)成電容結(jié)構(gòu)C1和C2，所述電容結(jié)構(gòu)C1和C2并接設(shè)置，所述ASIC芯片包括偏置電壓電路模塊和聲壓識(shí)別電路模塊，MEMS芯片將輸入到MEMS麥克風(fēng)的輸入聲音信號(hào)轉(zhuǎn)化成供聲壓識(shí)別電路模塊識(shí)別判斷的電信號(hào)，所述聲壓識(shí)別電路模塊接收該電信號(hào)以判別輸入聲音信號(hào)的聲壓的大小，所述偏置電壓電路模塊根據(jù)所述聲壓識(shí)別電路模塊的判別結(jié)果從而為MEMS芯片提供偏置電壓以控制選擇MEMS芯片的不同電容結(jié)構(gòu)的輸出信號(hào)作為輸出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述MEMS麥克風(fēng)的ASIC芯片還進(jìn)一步包括放大器電路模塊和調(diào)整電路模塊，所述放大器電路模塊用來(lái)接收并放大處理MEMS芯片的輸出，所述調(diào)整電路模塊用來(lái)調(diào)整偏置電壓電路模塊提供的偏置電壓的大小和放大器電路模塊放大器增益的大小。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述背板在其與所述第一振膜和第二振膜正對(duì)的位置上設(shè)有若干背板通孔，所述第一振膜在其與所述背板正對(duì)的位置上設(shè)有若干振膜通孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述MEMS芯片進(jìn)一步還包括第一基座和第二基座，所述第一基座設(shè)有與第一振膜相對(duì)的第一聲腔，所述第二基座設(shè)有與第二振膜相對(duì)的第二聲腔，所述第一基座和第一振膜之間、第二基座和第二振膜之間、第一振膜和背板之間以及第二振膜和背板之間均設(shè)有絕緣層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述背板上還設(shè)有防止第一振膜和第二振膜與背板貼合粘連的凸塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述第一振膜上的若干振膜通孔呈圓周均勻?qū)ΨQ(chēng)分布。

7.一種MEMS麥克風(fēng)的工作控制方法，所述MEMS麥克風(fēng)包括如上述權(quán)利要求1-6中所述的任一MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：

首先由MEMS芯片將輸入到MEMS麥克風(fēng)的輸入聲音信號(hào)轉(zhuǎn)化成供聲壓識(shí)別電路模塊識(shí)別判斷的電信號(hào)；

接著由聲壓識(shí)別電路模塊接收該電信號(hào)以判別輸入聲音信號(hào)的聲壓的大小；

當(dāng)判別出該聲壓小于高聲壓分界點(diǎn)時(shí)，偏置電壓電路模塊提供偏置電壓給第一振膜，此時(shí)第一振膜工作，MEMS芯片的輸出信號(hào)為電容結(jié)構(gòu)C1輸出的電信號(hào)；

當(dāng)判別出該聲壓等于或大于高聲壓分界點(diǎn)時(shí)，偏置電壓電路模塊同時(shí)提供偏置電壓給第一振膜和第二振膜，此時(shí)第一振膜和第二振膜同時(shí)工作，MEMS芯片的輸出信號(hào)為電容結(jié)構(gòu)C1和C2疊加輸出的電信號(hào)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MEMS麥克風(fēng)的工作控制方法，其特征在于：所述高聲壓分界點(diǎn)設(shè)置為120db。