[發明專利]一種避免飛片的石墨盤結構

無效

• 申請號: 201310287144.5
• 申請日: 2013-07-10
• 公開（公告）號: CN103343333A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 郭麗彬
• 申請（專利權）人: 合肥彩虹藍光科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種避免飛片的石墨盤結構，包括石墨盤的Pocket底座，其特征在于，所述Pocket底座為下凹的曲面底面形狀，曲面的圓心角為0~10度。

2.根據權利要求1所述的避免飛片的石墨盤結構，其特征在于，所述Pocket底座沿曲面底面的兩側上邊緣為Pocket側壁，所述Pocket側壁向腔體內傾斜，呈“7”型或“Z”型。

3.根據權利要求1所述的避免飛片的石墨盤結構，其特征在于，所述Pocket底座的曲面底面的下凹深度L為5~60μm。

4.根據權利要求3所述的避免飛片的石墨盤結構，其特征在于，所述Pocket底座的曲面底面距離所述Pocket側壁的高度H為10~100μm。