[發明專利]加熱器單元和熱處理裝置有效
| 申請號: | 201310286664.4 | 申請日: | 2013-07-09 |
| 公開(公告)號: | CN103546996A | 公開(公告)日: | 2014-01-29 |
| 發明(設計)人: | 中西識;藤田翁堂;福田洋人;巽智彥 | 申請(專利權)人: | 光洋熱系統株式會社 |
| 主分類號: | H05B3/06 | 分類號: | H05B3/06;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人: | 周善來;李雪春 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 加熱器 單元 熱處理 裝置 | ||
1.一種加熱器單元,其特征在于包括:
熱源,放射紅外線;
透光構件,與所述熱源相對配置,把所述熱源與氣氛隔離,并且使所述紅外線的至少一部分透過;以及
氣體流通機構,構成為使冷卻氣體在形成于所述熱源和所述透光構件之間的空間中流通。
2.根據權利要求1所述的加熱器單元,其特征在于,所述氣體流通機構包括與所述空間連接的氣體導入口和氣體排出口,所述冷卻氣體從所述氣體導入口導入,在所述空間中流通,從所述氣體排出口排出。
3.根據權利要求1或2所述的加熱器單元,其特征在于,所述透光構件是石英玻璃制的。
4.一種熱處理裝置,其特征在于包括:
熱處理爐,收容被處理件;
熱源,放射紅外線;
透光構件,與所述熱源相對配置,把所述熱源與所述熱處理爐內的氣氛隔離,并且使所述紅外線的至少一部分透過;以及
氣體流通機構,構成為使冷卻氣體在形成于所述熱源和所述透光構件之間的空間中流通。
5.根據權利要求4所述的熱處理裝置,其特征在于,所述氣體流通機構包括與所述空間連接的氣體導入管和氣體排出管,冷卻氣體從所述氣體導入管導入,在所述空間中流通,從所述氣體排出管排出。
6.根據權利要求5所述的熱處理裝置,其特征在于,所述氣體導入管和所述氣體排出管埋設在所述熱處理爐中。
7.根據權利要求5所述的熱處理裝置,其特征在于,所述氣體流通機構還包括氣流產生裝置。
8.根據權利要求6所述的熱處理裝置,其特征在于,所述氣體流通機構還包括氣流產生裝置。
9.根據權利要求4~8中任一項所述的熱處理裝置,其特征在于,所述冷卻氣體是大氣。
10.根據權利要求4~8中任一項所述的熱處理裝置,其特征在于,所述透光構件是石英玻璃制的。
11.根據權利要求4~8中任一項所述的熱處理裝置,其特征在于,所述熱處理裝置還包括移動部件,所述移動部件使所述被處理件向所述熱處理爐內的與所述透光構件的射出紅外線一側相對的區域移動。
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