[發明專利]一種用于環境監測傳感器的氣敏元件及環境監測傳感器

在審

• 申請號: 201310285731.0
• 申請日: 2013-07-09
• 公開（公告）號: CN104280343A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 程峰;張凱鐘;姜紅;王海霞;鄧新
• 申請（專利權）人: 青島中一監測有限公司
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 青島聯智專利商標事務所有限公司 37101
• 代理人: 邵新華

1.?一種用于環境監測傳感器的氣敏元件，包括基板和在基板上刻蝕的至少一道光波導底板，在所述光波導底板上設置有光波導層，所述光波導層上設置有高靈敏度層，其特征在于，所述高靈敏度層的成分為95%～99.5%的五氧化二鉭和0.5%～5%的釔，所述高靈敏度層的厚度為50～200nm，所述高靈敏度層上設置有氣體敏感材料層。

2.?根據權利要求1所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，所述氣體敏感材料層的成分為99.9%～99.999%的氧化鈮和0.001%～0.1%的鈀，所述氣體敏感材料層的厚度為5～20nm。

3.?根據權利要求1所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，所述氣體敏感材料層的成分為98%～99.8%的氟化鋁、0.1%～1%的鈰和0.1%～1%的鐠，所述氣體敏感材料層的厚度為10～40nm。

4.?根據權利要求1所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，所述氣體敏感材料層的成分為94.9%～99.89%的氧化鈮、0.1%～5%的釔和0.01%～0.1%的鑭，所述氣體敏感材料層的厚度為5～20nm。

5.?根據權利要求1所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，所述氣體敏感材料層的成分為95%～99.9%的氧化鑭和0.1%～5%的銦，所述氣體敏感材料層的厚度為5～20nm。

6.?根據權利要求1所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，所述氣體敏感材料層的成分為99%～99.99%的氧化銦和0.01%～1%的釹，所述氣體敏感材料層的厚度為20～30nm。

7.?根據權利要求1所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，所述氣體敏感材料層的成分為99.8%～99.989%的氧化鎂、0.01%～0.1%的鈀和0.001%～0.1%的鏑，所述氣體敏感材料層的厚度為30～80nm。

8.?根據權利要求1所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，在所述基板上相對位置的兩個端部分別設置有發射室和接收室，在所述發射室內設置有發光器件，在所述接收室內設置有光電檢測器件；所述光波導底板的兩端具有彎曲部，兩個彎曲部分別位于所述的發射室和接收室內。

9.?根據權利要求1至8任一項所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件，其特征在于，所述基板上設置多道光波導底板，在每一道所述的高靈敏度層上設置有不同的氣體敏感材料層。

10.一種環境監測傳感器，其特征在于，設置有如權利要求1至9中任一項權利要求所述的用于環境監測傳感器的氣敏元件。