[發明專利]超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構

有效

• 申請號: 201310283739.3
• 申請日: 2013-07-08
• 公開（公告）號: CN103353483A
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 陶利權;黃曉鵬;付純鶴
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: G01N29/22
• 分類號: G01N29/22
• 代理公司: 北京中建聯合知識產權代理事務所 11004
• 代理人: 朱麗巖

1.一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，包括：基座（8）、左驅動單元（1）、右驅動單元（2）、前支撐梁（7）、后支撐梁（6）以及X向橫梁（5），其中，后支撐梁（6）在后側對接左驅動單元（1）與右驅動單元（2），前支撐梁（7）在前側對接左驅動單元（1）與右驅動單元（2），X向橫梁（5）連接左驅動單元（1）與右驅動單元（2），左驅動單元（1）和右驅動單元（2）驅動X向橫梁（5）前后移動。

2.根據權利要求1所述的一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，

所述左驅動單元（1）包括：與基座（8）連接固定的左立座（14）、與左立座（14）連接固定的左U形座（13）、左導向裝置以及左驅動裝置，其中，左導向裝置安裝在左U形座（13）上，左驅動裝置分別與左導向裝置和X向橫梁（5）連接；

所述右驅動單元（2）包括：與基座（8）連接固定的右立座（20）、與右立座（20）連接固定的右U形座（19）、右導向裝置以及右驅動裝置，其中，右導向裝置安裝在右U形座（19）上，右驅動裝置分別與右導向裝置和X向橫梁（5）連接。

3.根據權利要求2所述的一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，

所述左驅動單元（1）的組成為：與左U形座（13）連接固定的左支架（9）、分別與X向橫梁（5）及左支架（9）連接固定的左直線導軌副（12）構成左導向裝置；與左支架（9）連接固定的左直線電機定子（10）、與X向橫梁（5）連接固定的左直線電機動子（11）構成左驅動裝置；

所述右驅動單元（2）的組成為：與右U形座（19）連接固定的右支架（15）、分別與X向橫梁（5）及右支架（15）連接固定的右直線導軌副（18）構成右導向裝置；與右支架（15）連接固定的右直線電機定子（16）、與X向橫梁（5）連接固定的右直線電機動子（17）構成右驅動裝置。

4.根據權利要求3所述的一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，左U形座（13）上兩面陣列分布有調節螺釘I（13-1），右U形座（19）上兩面陣列分布有調節螺釘II（19-1），用于對左支架（9）與右支架（15）進行互為平行的調整。

5.根據權利要求4所述的一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，該雙驅結構還包括：左定位單元（3）、右定位單元（4），其中，左定位單元（3）設置在左驅動單元（1）中、右定位單元（4）設置在右驅動單元（2）中。

6.根據權利要求5所述的一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，左定位單元（3）包括左直線光柵調整裝置，右定位單元（4）包括右直線光柵調整裝置，其中，

左直線光柵調整裝置包括：固定于X向橫梁（5）的左讀頭座（23）、安裝于左讀頭座（23）的左光柵讀數頭（24）、安裝于左支架（9）的左光柵標尺襯板（22）、以及粘接固定于左光柵標尺襯板（22）的左光柵標尺（21）；左光柵讀數頭（24）依托左讀頭座（23）上的長槽（23-1）可進行直線位移，以調節左光柵讀數頭（24）與左光柵標尺（21）間的側隙量值；

右直線光柵調整裝置包括：固定于X向橫梁（5）的右讀頭座（27）、安裝于右讀頭座（27）的右光柵讀數頭（28）、安裝于右支架（15）的右光柵標尺襯板（26）、以及粘接固定于右光柵標尺襯板（26）的右光柵標尺（25）；右光柵讀數頭（28）依托右讀頭座（27）上的長槽（27-1）可進行直線位移，以調節右光柵讀數頭（28）與右光柵標尺（25）間的側隙量值。

7.根據權利要求6所述的一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，左光柵標尺襯板（22）上陣列分布有調節螺釘III（22-1），右光柵標尺襯板（26）上陣列分布的調節螺釘IV（26-1），以X向橫梁（5）為測量基準，通過手動小步距移動X向橫梁（5），用于對左光柵標尺襯板（22）與右光柵標尺襯板（26）進行有效行程內直線度量值的調整，同時用于對左光柵標尺襯板（22）與右光柵標尺襯板（26）跨距間平行參數進行調整。

8.根據權利要求3所述的一種超聲掃描顯微鏡步進軸的雙驅結構，其特征在于，還包括機械限位裝置，機械限位裝置由分別固定于左支架（9）和右支架（15）上的限位座（30）、以及與限位座（30）連接的緩沖塊（29）構成。