[發明專利]一種貴金屬摻雜WO3氣敏涂層及其制備方法有效
| 申請號： | 201310283496.3 | 申請日： | 2013-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN104278228A | 公開（公告）日： | 2015-01-14 |
| 發明（設計）人： | 黃晶;袁建輝;李華 | 申請（專利權）人： | 中國科學院寧波材料技術與工程研究所 |
| 主分類號： | C23C4/10 | 分類號： | C23C4/10 |
| 代理公司： | 杭州天勤知識產權代理有限公司 33224 | 代理人： | 劉誠午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 貴金屬 摻雜 wo sub 涂層 及其 制備 方法 | ||
1.一種貴金屬摻雜WO3氣敏涂層的制備方法，其特征在于，以貴金屬納米粒子摻雜WO3懸浮液作為噴涂原料，通過熱噴涂工藝將所述的噴涂原料噴涂沉積到基體上，獲得厚度5～20μm且多孔亞微米結構的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層。
2.根據權利要求1所述的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層的制備方法，其特征在于，所述的貴金屬納米粒子為金納米粒子、鉑納米粒子中的至少一種。
3.根據權利要求2所述的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層的制備方法，其特征在于，所述的金納米粒子的粒徑為5～15nm，鉑納米粒子的粒徑為5～10nm。
4.根據權利要求1所述的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層的制備方法，其特征在于，所述的噴涂原料通過如下方法得到：將去離子水、無水乙醇和表面活性劑混合均勻，并加入平均粒徑為30～50nm的WO3粉末和貴金屬納米粒子進行磁力攪拌混合均勻，得到噴涂原料。
5.根據權利要求4所述的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層的制備方法，其特征在于，所述的噴涂原料中WO3粉末的質量百分含量為6%～15%，貴金屬納米粒子的質量百分含量為0.01%～0.15%，表面活性劑的質量百分含量為0.06%～0.15%，去離子水與無水乙醇的體積比為1:1～1:4。
6.根據權利要求4所述的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層的制備方法，其特征在于，所述的表面活性劑為聚乙二醇、聚甲基丙烯酸銨或聚丙烯酸銨。
7.根據權利要求1所述的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層的制備方法，其特征在于，所述的熱噴涂采用等離子噴涂，等離子噴涂的電流為550～650A，電壓為45～55V，噴涂原料流量為15～40ml/min，噴涂距離為150～220mm，等離子噴槍移動速度為350～600mm/s，涂層噴涂遍數為10～35遍。
8.一種貴金屬摻雜WO3氣敏涂層，其特征在于，利用權利要求1～7任一方法制備。
9.根據權利要求8所述的貴金屬摻雜WO3氣敏涂層，其特征在于，涂層的厚度為5～20μm，涂層中貴金屬的含量在0.067wt%～2.440wt%。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C4-00 熔融態覆層材料噴鍍法，例如火焰噴鍍法、等離子噴鍍法或放電噴鍍法的鍍覆
C23C4-02 .待鍍材料的預處理，例如為了在選定的表面區域鍍覆
C23C4-04 .以鍍覆材料為特征的
C23C4-12 .以噴鍍方法為特征的
C23C4-18 .后處理
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