[發明專利]檢測晶片的系統和方法

有效

• 申請號: 201310283291.5
• 申請日: 2010-01-13
• 公開（公告）號: CN103630549A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 阿杰亞拉里·阿曼努拉;林靖;葛漢成;黃國榮
• 申請（專利權）人: 聯達科技設備私人有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種檢測系統，其特征在于，包括：

照明器，用于對待測物體的表面上的檢測位置提供入射照明；

多個光學元件，所述光學元件包括第一反射器組件，所述第一反射器組件用于采集由所述待測物體的表面所反射出的多個方向上的分散光源，并且所述第一反射器組件進一步用于沿著多個光學路徑引導所采集的分散光源以提供所述待測物體的表面的多個視圖；以及

圖像采集設備，用于接收所采集到的分散光源以作為一次曝光來提供待測物體表面的多個圖像。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述入射在待測物體表面上的光源通過第二反射器組件被引導，所述第二反射器組件包括至少一個反射器。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一反射器組件包括分束器、鏡子、棱鏡以及反射面中的至少一個。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一反射器組件包括第一反射結構和第二反射結構，所述第一、第二反射結構用于采集由待測物體表面所反射的分散光源并分別沿著第一光學路徑和第二光學路徑引導所采集到的分散光源。

5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述多個光學元件進一步包括至少一個物鏡，所述物鏡用于校準沿著多個光學路徑引導的光源。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述多個光學元件進一步包括至少一個管鏡，所述管鏡用于將沿著多個光學路徑引導的光源聚焦到圖像采集設備上。

7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述管鏡有利于將額外的光學元件導入系統中。

8.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述照明器包括細線照明器。

9.根據權利要求8所述的系統，其特征在于，所述細線照明器包括激光器。

10.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述待測物體表面的多個圖像提供或相當于處于檢測位置的待測物體表面的3D圖像。

11.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述圖像采集設備用于將待測物體表面的多個圖像的一次曝光轉換成圖像信號，并且所述系統進一步包括用于接收和處理圖像信號的處理單元。

12.根據權利要求11所述的系統，其特征在于，所述圖像信號的處理有利于待測物體表面上的3D檢測過程的進行。

13.根據權利要求11所述的系統，其特征在于，所述圖像采集設備用于在待測物體移動的過程中采集作為一次曝光的待測物體表面的多個圖像。

14.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述圖像采集設備包括3D圖像照相機。

15.一種檢測方法，其特征在于，包括：

通過照明器對待測物體表面上的檢測位置提供入射照明；

沿著多個光學路徑傳送由待測物體表面反射的多個方向上的分散光源以提供待測物體表面的多個圖像，所述傳送是通過多個光學元件來進行的；以及

通過圖像采集設備采集作為一次曝光的待測物體表面的多個圖像。

16.根據權利要求15所述的方法，其特征在于，沿著多個光學路徑傳送由待測物體表面反射的多個方向上的分散光源以提供待測物體表面的多個圖像包括：

通過多個光學元件采集由待測物體表面反射的多個方向上的分散光源；以及

通過多個光學元件沿著多個光學路徑引導所采集到的分散光源以提供待測物體表面的多個圖像。

17.根據權利要求15所述的方法，其特征在于，所述多個光學元件包括第一反射器組件，并且其中所述第一反射器組件包括分束器、鏡子、棱鏡和反射面中的至少一個。

18.根據權利要求15所述的方法，其特征在于，沿著多個光學路徑傳送由待測物體表面反射的多個方向上的分散光源包括沿著第一光學路徑和第二光學路徑傳送由待測物體表面反射的多個方向上的分散光源。

19.根據權利要求18所述的方法，其特征在于，

所述多個光學元件包括物鏡；以及

沿著第一光學路徑和第二光學路徑傳送由待測物體表面反射的多個方向上的分散光源包括通過所述物鏡校準沿著第一光學路徑和第二光學路徑反射的分散光源。