[發明專利]一種用于流式細胞儀的微流控芯片結構及其制作方法

無效

• 申請號: 201310283051.5
• 申請日: 2013-07-05
• 公開（公告）號: CN103341372A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 常洪龍;洪水金;尋文鵬;馮建國
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00;G01N15/14
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 呂湘連

1.一種用于流式細胞儀的微流控芯片結構，其特征在于：主要包括樣品液入口（1）、狀陣列結構（6）、錐形聚焦結構（7）、微通道（8）、檢測區（4）、擴流通道（9）、廢液出口端（5）；所述柱狀陣列結構（6）位于錐形聚焦結構（7）靠近樣品液入口（1）處，相鄰兩排微柱之間的尺寸間隔為d1，d1滿足：d0<d1<d2，其中，d0為注入樣品液中最大細胞直徑，d2為微通道（8）的橫截面寬度；錐形聚焦結構（7）的聚焦效果，使得細胞顆粒單個流入微通道（8）；微通道（8）通過通道束縛細胞使其單個通過檢測區（4），微通道（8）橫截面寬度d2滿足：d0<d2<1.5d0，檢測區（4）為光學檢測系統檢測光束照亮的區域；擴流通道（9）主要實現對檢測后的廢液進行疏散；廢液出口端（5）用于連接引出芯片的導管，使得廢液流出整個微流控芯片。?

2.一種用于流式細胞儀的微流控芯片結構，其特征在于：所述錐形聚焦結構（7）展開角度20°～60°。?

3.一種如權利要求1或2所述微流控芯片結構的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：?

步驟1：清洗單拋硅片基底；?

步驟2：在經過清洗的硅基底拋光面上涂敷厚度為1.5d0的SU-8光刻膠；?

步驟2：以微流控芯片結構為掩模版結構，利用紫外光對SU-8光刻膠進行曝光；?

步驟4：對經過曝光后的SU-8光刻膠進行顯影，形成所需的SU-8結構，從而獲得相對應的SU-8陽模具；?

步驟5：用鋁箔紙將所獲得的SU-8陽模具圍起來形成一個澆鑄模具；?

步驟6：將PDMS預聚體與偶聯劑混合物抽真空后倒入澆鑄模具，并將其置于烤箱中烘烤固化；?

步驟7：將鋁箔紙與固化后的PDMS及硅基底剝離，并將固化后的PDMS與模具剝離，得到所需的PDMS結構；?

步驟8：利用打孔器在PDMS結構對應位置上打出所需的樣品液注入口和廢液出口，從而得到所需的微流控芯片結構；?

步驟9：將步驟8所得的微流控芯片結構及載玻片清洗干凈并吹干，后利用氧等離子體對微流控芯片結構和載玻片的貼合表面進行處理，最后將兩者貼合在一起；?

步驟10：將步驟9所得貼合組件放入烤箱中烘烤，冷卻取出得到具有細胞聚焦功能微流控芯片。?