[發明專利]含倍半萜的成膜樹脂及其正性248nm光刻膠

有效

• 申請號: 201310281316.8
• 申請日: 2013-07-05
• 公開（公告）號: CN103387636A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 冉瑞成;沈吉;賀寶元;吳俊
• 申請（專利權）人: 昆山西迪光電材料有限公司
• 主分類號: C08F220/18
• 分類號: C08F220/18;C08F212/14;G03F7/039
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種含倍半萜的成膜樹脂，由共聚單體在自由基引發劑存在的條件下，于溶劑中進行共聚合反應制備而成的共聚物構成，其特征在于：所述成膜樹脂的分子量為4000~100000，分子量分布的分布指數為1.4~2.8；所述共聚單體主要由下列重量份數的化合物組成：

取代苯乙烯???????????????????????5~40份；

含倍半萜的組成單元??????????????10~60份；

所述取代苯乙烯是符合化學通式（?）中的至少一種化合物：

??????????????????（）；

式中，R₁為H、甲基、叔丁基、乙酰基或丙酰基，m=1或2；

所述含倍半萜的組成單元是丙烯酸或甲基丙烯酸與倍半萜醇進行酯化反應得到的符合化學通式（）的至少一種倍半萜醇的丙烯酸酯類化合物或倍半萜醇的甲基丙烯酸酯類化合物：

??????????（II）；

式中，R₂為H或甲基，R為倍半萜基。

2.?根據權利要求1所述的成膜樹脂，其特征在于：所述倍半萜醇為廣藿香醇、α-桉葉醇、環桉醇、檜腦、蒼蒲醇、柏木醇、寬葉甘松醇、喇叭茶醇、愈創木醇或韋德醇中的任意一種。

3.?根據權利要求1所述的成膜樹脂，?其特征在于：所述共聚單體包括1~40重量份數的含酸敏基團單體，所述含酸敏基團單體是符合化學通式（）式中的至少一種化合物：

??????????????????（）；

式中，R₄為H或甲基；

R₃為在酸作用下的易離去基團，其結構式選自結構式系列（IV）中的任意一種：?

??????（IV）

其中，Y為甲基或乙基。

4.?根據權利要求3所述的成膜樹脂，其特征在于：所述含酸敏基團單體選自丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸叔戊酯、甲基丙烯酸叔戊酯、丙烯酸甲基環戊酯、甲基丙烯酸甲基環戊酯、丙烯酸環戊內酯基酯、甲基丙烯酸環戊內酯基酯、丙烯酸甲基環己酯、甲基丙烯酸甲基環己酯、丙烯酸甲基異冰片酯、丙烯酸甲基金剛烷酯、甲基丙烯酸乙基金剛烷酯、丙烯酸2-環戊醚酯、甲基丙烯酸2-環戊醚酯、丙烯酸2-環己醚酯、甲基丙烯酸2-環己醚酯、2-環戊內酯丙烯酸酯、2-環己內酯甲基丙烯酸酯中的任意一種或至少兩種按任意比例的組合。

5.?根據權利要求1所述的成膜樹脂，?其特征在于：所述共聚單體包括1~40重量份數的其他性能調節組分單體，所述其他性能調節組分單體是符合化學通式（）式中的至少一種化合物：

??????????????（）；

式中，R_w是H、碳原子數為1~20的烷基、碳原子數為1~20的烷氧基、或，其中，R₁₀是碳原子數為1~10的烷基，R₁₁是碳原子數為1~10的烷基，n為1~8的正整數；

R_z是H、碳原子數為1~20的烷基、碳原子數為1~20的烷氧基、或?，其中，R₁₂是碳原子數為1~10的烷基，R₁₃是碳原子數為1~10的烷基，p為1~8的正整數。

6.?根據權利要求5所述的成膜樹脂，其特征在于：所述其他性能調節組分單體選自苯乙烯、對叔丁基苯乙烯、對叔丁氧基苯乙烯、對叔戊基苯乙烯、對乙氧基苯乙烯、對叔戊氧基苯乙烯、3,5-二甲氧基苯乙烯、3,5-二乙氧基苯乙烯、對苯氧基苯乙烯中的任意一種或至少兩種按任意比例的組合。

7.?根據權利要求1所述的成膜樹脂，其特征在于：所述自由基引發劑為偶氮類自由基引發劑或過氧化物的自由基引發劑，其中所述偶氮類自由基引發劑選自偶氮二異丁晴、偶氮二異庚晴、偶氮二異丁酸二甲酯、偶氮二異丁基咪唑啉鹽酸鹽、偶氮二環己基甲晴中的任意一種；所述過氧化物的自由基引發劑選自叔丁基過氧化特戊酸酯、叔丁基過氧化氫、苯甲酸過氧化氫、過氧化苯甲酰中的任意一種；所述自由基引發劑的用量為所述共聚單體總重量的0.3%~15%。

8.?一種含倍半萜的正性248nm光刻膠，其特征在于：該正性248nm光刻膠主要由以下重量份數的化合物組成：

聚合物成膜樹脂?????????10~35份；

光致酸?????????????????0.5~6份；

溶劑???????????????????70~90份；

有機堿????????????????0.01~0.5份；

所述聚合物成膜樹脂為權利要求1~7中任意一項權利要求所述的成膜樹脂；

所述光致酸是符合化學通式（）的硫鎓鹽、符合化學通式（）的硫鎓鹽以及符合化學通式（）的碘鎓鹽中的至少一種化合物：

???????（）

式中，R₁₆、R₁₇以及R₁₈各自獨立地是H、碳原子數為1~20的烷基或者碳原子數為1~20的烷氧基；配位陰離子為磺酸基負性基團，其中，G₁為碳原子數為1~12的全氟烷基，或碳原子數為1~12的烷基苯基，或萘基，或樟腦基；

???????（）

式中，R₁₉是H、碳原子數為1~20的烷基或者碳原子數為1~20的烷氧基；配位陰離子為磺酸基負性基團，其中，G₂為碳原子數為1~12的全氟烷基，或碳原子數為1~12的烷基苯基，或萘基，或樟腦基；

??????????（IX）

式中，R₂₀和R₂₁各自獨立地是H、碳原子數為1~20的烷基或者碳原子數為1~20的烷氧基；配位陰離子為磺酸基負性基團，其中，G₃為碳原子數為1~12的全氟烷基，或碳原子數為1~12的烷基苯基，或萘基，或樟腦基；

所述溶劑選自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇單醋酸醚、丙二醇單乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、二縮乙二醇甲醚、二縮乙二醇乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、甲基異丁基酮中的任意一種或至少兩種按任意比例的組合；

所述有機堿選自三丙胺、三丁胺、三異丁胺、三辛胺、三乙醇胺、三乙氧基乙醇胺、三(甲氧基乙基)胺、四甲基氫氧化銨中的任意一種。

9.?根據權利要求8所述的正性248nm光刻膠，其特征在于：所述硫鎓鹽選自三苯基硫鎓鹽、三對甲苯基硫鎓鹽、三對叔丁基苯基硫鎓鹽、三（3,5-二甲基苯基）硫鎓鹽、三（3,5-二叔丁基苯基）硫鎓鹽、三對辛基苯基硫鎓鹽、三對十二烷基苯基硫鎓鹽中的任意一種或至少兩種按任意比例的組合；所述硫鎓鹽中的配位陰離子為三氟甲基磺酸基、全氟丁基磺酸基、對甲苯基磺酸基、萘磺酸基中的任意一種。

10.?根據權利要求8所述的正性248nm光刻膠，其特征在于：所述碘鎓鹽選自二苯基碘鎓鹽、二對甲苯基碘鎓鹽，二對叔丁基苯基碘鎓鹽、二對辛基苯基碘鎓鹽、二對十二烷基苯基碘鎓鹽中的任意一種或至少兩種按任意比例的組合；所述碘鎓鹽中的配位陰離子為三氟甲基磺酸基、全氟丁基磺酸基、全氟壬基磺酸基、對甲苯基磺酸基、萘磺酸基、樟腦磺酸基中的任意一種。