[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310280797.0
• 申請(qǐng)日: 2013-07-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103390691A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張寶鋒;劉良玉;賈京英;郭立
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;F27B9/24
• 代理公司: 長(zhǎng)沙正奇專(zhuān)利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113
• 代理人: 馬強(qiáng);李發(fā)軍

1.?一種用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，包括依次繞裝在主動(dòng)滾筒（3）、支撐導(dǎo)條（5）、導(dǎo)向滾筒（7）、換向滾筒（8）和支撐滾筒（9）上的可閉環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)的傳輸網(wǎng)帶（4）；所述支撐導(dǎo)條（5）的一端外側(cè)為出片口，該出片口設(shè)有用于承接傳輸網(wǎng)帶（4）上硅片（2）的硅片傳送帶（1）；由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的所述主動(dòng)滾筒（3）帶動(dòng)所述傳輸網(wǎng)帶（4）閉環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述傳輸網(wǎng)帶（4）為可傳送兩層硅片（2）的上下雙層網(wǎng)帶。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，所述傳輸網(wǎng)帶（4）一側(cè)設(shè)有張緊該傳輸網(wǎng)帶（4）的張緊機(jī)構(gòu)。

3.?根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，安裝在主動(dòng)滾筒（3）和換向滾筒（8）之間的所述張緊機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)氣缸（12）、導(dǎo)向座（10）和張緊滾筒（11）；所述驅(qū)動(dòng)氣缸（12）可驅(qū)動(dòng)張緊滾筒（11）沿著導(dǎo)向座（10）的導(dǎo)槽方向運(yùn)動(dòng)。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1~3之一所述的用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，所述傳輸網(wǎng)帶（4）上設(shè)有多個(gè)豎向布置在傳輸網(wǎng)帶（4）上的支架（15,16）；相鄰兩個(gè)支架（15,16）底端之間的行間距大于硅片（2）的邊長(zhǎng)，相鄰兩個(gè)支架（15,16）頂端之間的行間距小于硅片（2）的邊長(zhǎng)；所述導(dǎo)向滾筒（7）、換向滾筒（8）和支撐滾筒（9）上均設(shè)有便于支架（15,16）通過(guò)的槽（18,19）。

5.?根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，所述相鄰兩個(gè)支架（15,16）底端之間的列間距大于硅片（2）的邊長(zhǎng)，相鄰兩個(gè)支架（15,16）頂端之間的列間距小于硅片（2）的邊長(zhǎng)。

6.?根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，所述支架（15,16）包括六行，最外側(cè)的兩行支架為倒L形的端支架（16），中間四行支架為T(mén)字形的中間支架（15）。

7.?根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，所述支撐導(dǎo)條（5）的另一端外側(cè)為進(jìn)片口，該進(jìn)片口處設(shè)有將硅片（2）放置在傳輸網(wǎng)帶（4）上的吸盤(pán)機(jī)器手（6）。

8.?根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐的雙層網(wǎng)帶，其特征在于，相鄰兩個(gè)支架（15,16）頂端之間的行距為硅片（1）的邊長(zhǎng)的1/4?~1/3。