[發明專利]引線框架制造方法有效
| 申請號: | 201310279232.0 | 申請日: | 2013-07-04 |
| 公開(公告)號: | CN103346095B | 公開(公告)日: | 2016-11-30 |
| 發明(設計)人: | 張衛紅;沈海軍;周鋒;吳賽花;吳曉敏 | 申請(專利權)人: | 南通富士通微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/48 | 分類號: | H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 孟阿妮 |
| 地址: | 226006 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 引線 框架 制造 方法 | ||
1.一種引線框架制造方法,其特征在于,包括:
形成引線框架本體,所述引線框架本體包括多個芯片承載基座和連接部,所述多個芯片承載基座之間通過連接部連接;
對所述連接部進行半刻蝕;
在所述連接部的半刻蝕區域形成塑封層。
2.根據權利要求1所述的引線框架制造方法,其特征在于,所述連接部和所述芯片承載基座一體成型。
3.根據權利要求1所述的引線框架制造方法,其特征在于,所述連接部為連接中筋。
4.根據權利要求1所述的引線框架制造方法,其特征在于,形成所述引線框架本體后,還包括,在所述引線框架本體表面形成金屬鍍層。
5.根據權利要求4所述的引線框架制造方法,其特征在于,形成所述金屬鍍層的材料為金、銀、鎳或錫。
6.根據權利要求1所述的引線框架制造方法,其特征在于,所述連接部的寬度為0.300mm-0.350mm。
7.根據權利要求6所述的引線框架制造方法,其特征在于,所述連接部的寬度為0.325mm。
8.根據權利要求1所述的引線框架制造方法,其特征在于,形成所述塑封層的材料為環氧樹脂。
9.根據權利要求8所述的引線框架制造方法,其特征在于,所述塑封層的厚度為半刻蝕前連接部厚度的二分之一。
10.根據權利要求1-9任一所述的引線框架制造方法,其特征在于,所述引線框架本體采用銅、鐵或鎳制成。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





