[發明專利]化學氣相沉積反應的裝置

有效

• 申請號: 201310273312.5
• 申請日: 2013-07-02
• 公開（公告）號: CN103343331A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發明（設計）人: 崔向中;傅旭;馬江寧;馬國佳;鞏水利;孫梅;孫剛
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司北京航空制造工程研究所
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 韓嫚嫚

1.一種化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述化學氣相沉積反應的裝置包括：

上端蓋，其上開設有進料口和出氣口；

反應管，其內設有微孔分布板，所述微孔分布板上開設有多個穿孔，所述反應管通過所述微孔分布板分為上部流化床反應室及下部固定床均化室，所述反應管的固定床均化室的外部套設有電爐，所述反應管的流化床反應室外部纏繞有金屬絲，所述反應管的上端通過上密封套與所述上端蓋相連；

下端蓋，其開設有進氣口，所述下端蓋通過下密封套連接在所述反應管的下端。

2.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述微孔分布板上開設的穿孔的直徑為10～100μm。

3.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述固定床均化室內設有盛料器，所述盛料器座設在所述下端蓋內。

4.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述上端蓋上設有紅外成像儀窗口。

5.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，纏繞在所述反應管的流化床反應室外部的所述金屬絲的外部設有隔熱保溫體。

6.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述上端蓋的外表面與所述下端蓋的外表面分別貼設有水冷套。

7.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述固定床均化室內設有熱電偶，所述熱電偶穿出所述下端蓋的一端連接有溫度傳感器和壓力傳感器。

8.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述上端蓋和所述下端蓋分別通過真空管與一真空泵相連。

9.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述反應管的流化床反應室的內壁上設有基片槽放置坎，基片槽放置坎上放置有基片槽。

10.如權利要求1所述的化學氣相沉積反應的裝置，其特征在于，所述化學氣相沉積反應的裝置還包括支架，所述下端蓋固定連接在所述支架的下端，所述上端蓋可軸向滑動地連接在所述支架的上端。