[發明專利]一種IC裝備多數據源曲線繪制系統及其設計方法

在審

• 申請號: 201310272817.X
• 申請日: 2013-07-01
• 公開（公告）號: CN104281438A
• 公開（公告）日: 2015-01-14
• 發明（設計）人: 金妮;徐皚冬;劉明哲;王鍇;王晨曦
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽自動化研究所
• 主分類號: G06F9/44
• 分類號: G06F9/44
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 周秀梅;許宗富

技術領域

本發明屬于IC裝備控制技術領域，具體說是一種靈活的IC裝備多數據源曲線繪制系統及其設計方法。

背景技術

目前國內半導體廠投資已朝向12英寸晶圓發展，其晶圓生產工序日漸復雜，加工生產過程中產生的數據量也越來越大。如何從大量的數據中獲取更多更直觀的信息成為IC軟件開發中的一個技術問題。

現有的IC裝備控制軟件中大多以報表的形式提供給用戶，這種數據形式不夠直觀而且也無法反應數據的變化趨勢。少量的IC裝備控制軟件提供曲線顯示功能，但功能并不完備，而且靈活性差，很難根據用戶的需求進行靈活的配置，往往需要設計人員對程序進行修改，增加了開發成本，而且根據數據源的不同往往需要重新開發軟件，增加了二次開發的成本。

發明內容

本發明的目的是提供一種靈活的IC裝備多數據源曲線繪制系統及其設計方法，通過該設計方法設計的IC裝備多數據源曲線繪制系統，可以通過配置數據源屬性來實現多數據源曲線的繪制功能，另外可以對曲線參數信息進行配置，使曲線的顯示更為靈活。

本發明為實現上述目的所采用的技術方案是：一種IC裝備多數據源曲線繪制系統，包括曲線繪制系統加載模塊、曲線參數配置模塊、曲線數據采集模塊、曲線顯示及操作模塊和曲線數據導出模塊；

所述曲線繪制系統加載模塊，用于在所述曲線繪制系統初始化時，根據用戶的定制加載相應的模塊；

所述曲線參數配置模塊，用于用戶根據IC裝備中實際連接設備，配置相應的曲線參數的采集信息和曲線參數的顯示信息，生成曲線參數配置文件，通過對曲線參數配置文件的修改實現對曲線參數的添加、刪除或修改；

所述曲線數據采集模塊，提供各個模塊間的接口，接收所述曲線參數配置模塊的邏輯命令，根據所述的邏輯命令，實現對與數據采集設備的通信并獲取數據采集設備中的采集參數；

所述曲線顯示及操作模塊，用于將所述曲線數據采集模塊采集到的數據進行編輯，形成相應的曲線并顯示，并提供對曲線進行操作的平臺；

所述曲線數據導出模塊，用于對曲線參數的數據進行導出。

所述曲線數據導出模塊以文本文件或Excell文件的形式對曲線數據進行導出。

一種IC裝備多數據源曲線繪制系統的設計方法，包括以下步驟：

系統初始化，根據用戶的定制加載系統中相應的模塊；

生產曲線參數配置文件，采集曲線參數；

對曲線參數進行編輯并顯示。

所述根據用戶的定制加載系統中相應的模塊，具體為：

為系統中的每個模塊均設計一個類型屬性，通過配置所述類型屬性動態加載相應模塊，完成實時曲線和歷史曲線的切換，實現定制功能。

所述生產曲線參數配置文件，采集曲線參數，具體為：

采用線程的方式設計，根據模塊類型不同，連接不同的底層服務模塊，所述線程提供各個模塊間的接口，根據應用程序的邏輯命令實現對數據采集狀態控制，包括數據采集的開啟控制和關閉控制。

所述對曲線參數進行編輯并顯示，具體為：

將曲線參數分為組基本信息和曲線參數特定信息，所述組基本信息包括組名、組顯示名、X軸坐標名稱、X軸小步長、X軸大步長、X軸顯示長度、X軸總容量和刷新時間；所述曲線參數特定信息包括變量名稱、所屬模塊名稱、曲線名稱、變量的最小值、變量的最大值、Y軸小步長、Y軸大步長、標志和曲線顏色；

將同一組曲線設置為相同的組基本信息，每組曲線的曲線參數特定信息不同；

將組基本信息和曲線參數特定信息保存，并供顯示時讀取。

本發明可降低軟件的二次開發成本，提高軟件的可擴展性、可維護性和易操作性，具體具有以下優點及有益效果：

1.本發明使系統可根據用戶需要進行定制。

2．本發明提供的數據采集模塊的設計方法，可根據曲線類型，動態鏈接數據源，也可根據用戶需要控制采集模塊的啟動與停止。

3．本發明提供的對曲線參數編輯的方法，曲線參數信息以xml文件的形式進行存儲，用戶可通過對曲線參數的編輯對曲線參數信息進行讀取和配置。

4．通過本發明提供的曲線繪制系統，具有曲線類型的定制功能，曲線參數的配置功能，數據源的選擇功能，這樣可以更加靈活的根據用戶需求完成曲線的繪制及顯示功能。

附圖說明

圖1是多數據源曲線繪制系統的架構圖；

圖2是IC裝備多數據源曲線繪制系統的加載方法示意圖；