[發(fā)明專利]一種寬光譜高分辨率微型平場(chǎng)光譜儀的光機(jī)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310272814.6
• 申請(qǐng)日: 2013-07-02
• 公開（公告）號(hào): CN103323112A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔錦江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01J3/02
• 分類號(hào): G01J3/02;G01J3/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種寬光譜高分辨率微型平場(chǎng)光譜儀的光機(jī)結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括可調(diào)狹縫(1)、滑動(dòng)導(dǎo)軌(2)、第一平場(chǎng)全息凹面光柵(3)、第二平場(chǎng)全息凹面光柵(4)、CCD探測(cè)器(5)、遮光板(6)，所述可調(diào)狹縫(1)為待測(cè)光信號(hào)的入射窗口，滑動(dòng)導(dǎo)軌(2)位于進(jìn)入可調(diào)狹縫(1)的入射光束的傳播方向上，滑動(dòng)導(dǎo)軌(2)上設(shè)置有三個(gè)裝卡位置，第一裝卡位置(7)，第二裝卡位置(8)，第三裝卡位置(9)，第一平場(chǎng)全息凹面光柵(3)和第二平場(chǎng)全息凹面光柵(4)安裝于滑動(dòng)導(dǎo)軌(2)上，第一平場(chǎng)全息凹面光柵(3)可在第一裝卡位置(7)與第三裝卡位置(9)之間切換，第二平場(chǎng)全息凹面光柵(4)可在第二裝卡位置(8)與第一裝卡位置(7)之間切換，入射光束經(jīng)光柵分光后成像在CCD探測(cè)器(5)上，各條譜線按照波長(zhǎng)順序在CCD探測(cè)器(5)上形成光譜。

2.如權(quán)利要求1所述的一種寬光譜高分辨率微型平場(chǎng)光譜儀的光機(jī)結(jié)構(gòu)，其特征在于：第一平場(chǎng)全息凹面光柵(3)和第二平場(chǎng)全息凹面光柵(4)為通過優(yōu)化設(shè)計(jì)全息凹面光柵制作光路制得的像差校正光柵，全息凹面光柵制作光路包括第一點(diǎn)光源(10)、第二點(diǎn)光源(11)、凹面基底(12)，第一點(diǎn)光源(10)發(fā)出的球面光束(13)與第二點(diǎn)光源(11)發(fā)出的球面光束(14)在凹面基底(12)表面形成干涉條紋，凹面基底(12)表面涂覆有光致抗蝕劑，利用光致抗蝕劑記錄下干涉條紋，經(jīng)顯影制得凹面全息光柵，根據(jù)凹面全息光柵幾何像差理論，通過優(yōu)化設(shè)計(jì)第一點(diǎn)光源(10)和第二點(diǎn)光源(11)的空間位置即可達(dá)到校正凹面光柵像差的目的，經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)后，第一平場(chǎng)全息凹面光柵(3)和第二平場(chǎng)全息凹面光柵(4)具有相同的使用結(jié)構(gòu)，其中第一平場(chǎng)全息凹面光柵(3)將紫外-可見部分的光譜成像在CCD探測(cè)器(5)上，第二平場(chǎng)全息凹面光柵(4)將可見-近紅外部分的光譜成像在CCD探測(cè)器(5)上。

3.如權(quán)利要求1所述的一種寬光譜高分辨率微型平場(chǎng)光譜儀的光機(jī)結(jié)構(gòu)，其特征在于：遮光板(6)為一固定于光柵前方的中央設(shè)有圓形通光孔的黑色遮光板，遮光板(6)中央的通光孔靠近并正對(duì)位于第一裝卡位置(7)處的光柵，通光孔的口徑比光柵口徑略小，遮光板(6)的作用是使入射光束照射在處于第一裝卡位置(7)處的光柵上，同時(shí)遮擋射向其它裝卡位置光柵的光。