[發明專利]支架拋光裝置和支架拋光方法

有效

• 申請號: 201310272381.4
• 申請日: 2010-05-19
• 公開（公告）號: CN103320846A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 鐘生平;高洪亮;趙迎紅;劉睿
• 申請（專利權）人: 易生科技（北京）有限公司
• 主分類號: C25F3/16
• 分類號: C25F3/16;C25F7/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種電化學拋光中的支架拋光裝置，包括金屬電極和設置在電解液中的陰極，其特征在于，還包括：

連接部，用于將待拋光支架和所述金屬電極連接以形成陽極；

擴展部，包括兩個金屬管，分別設置在所述待拋光支架的兩端，用于在電化學拋光過程中增加所述陽極的長度。

2.根據權利要求1所述的支架拋光裝置，其特征在于，

所述連接部為一芯軸，且所述金屬管、待拋光支架與所述金屬電極均以所述芯軸為軸，同軸安裝在所述芯軸上。

3.根據權利要求1所述的支架拋光裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

一用于盛放電解液的電解槽。

4.根據權利要求1所述的支架拋光裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

絕緣環，以所述芯軸為軸，安裝在所述金屬電極和所述金屬管之間。

5.根據權利要求1所述的支架拋光裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

拋光海綿，與所述待拋光支架的外表面相接觸。

6.根據權利要求5所述的支架拋光裝置，其特征在于，所述裝置還包括：

懸臂，與所述連接部相連接，用于在電化學拋光過程中控制所述待拋光支架的外表面相對于所述拋光海綿旋轉摩擦。

7.根據權利要求1所述的支架拋光裝置，其特征在于，所述金屬管的長度為1mm-25mm，所述金屬管與所述待拋光支架之間的距離為0.5mm-10mm。

8.根據權利要求4所述的支架拋光裝置，其特征在于，所述絕緣環的長度為1mm-50mm。

9.一種電化學拋光中的支架拋光方法，應用于對電解液中的作為陽極的待拋光支架進行拋光，所述待拋光支架與一金屬電極連接形成陽極，特征在于，包括：

對所述待拋光支架進行電解拋光，其中，在拋光過程中，利用預先設置在所述待拋光支架的兩端的金屬管，增加所述陽極的長度。

10.根據權利要求9所述的支架拋光方法，其特征在于，所述金屬管與所述待拋光支架之間隔有一段距離，且所述金屬管與所述待拋光支架同軸安裝在同一芯軸上。

11.根據權利要求9或10所述的支架拋光方法，其特征在于，所述對所述拋光支架進行電解拋光包括：

將拋光海綿固定在基板上放入電解液中，使所述拋光海綿與水平方向的夾角為20°-80°；

將固定在所述芯軸上的金屬電極與一懸臂相連接，控制所述懸臂上下移動，使所述待拋光支架沿著所述拋光海綿的傾角做相同角度的斜線運動，與所述拋光海綿進行旋轉摩擦。

12.根據權利要求9或10所述的支架拋光方法，其特征在于，所述對所述拋光支架進行電解拋光包括：

將固定在所述芯軸上的金屬電極與一懸臂相連接，固定所述懸臂使所述待拋光支架浸入到電解液中；

將拋光海綿固定在基板上放入電解液中，使所述拋光海綿與水平方向的夾角為20°-80°，并控制所述拋光海綿沿著該夾角做往復運動，與所述拋光海綿進行旋轉摩擦。