[發明專利]一種單凸梁式微機械加速度傳感器

無效

• 申請號: 201310271573.3
• 申請日: 2013-07-02
• 公開（公告）號: CN103308718A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 孫遠程;袁明權;張茜梅;王海青;武蕊;屈明山
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號: G01P15/12
• 分類號: G01P15/12
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長明;韓志英

1.一種單凸梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的傳感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有框架（1）、敏感凸梁（2）、質量塊（3）、壓敏電阻，其連接關系是,所述框架（1）內設置有敏感凸梁（2），敏感凸梁（2）的一端與框架（1）相連，另一端與質量塊（3）相連，敏感凸梁（2）和質量塊（3）共同構成敏感芯片的可動部分；壓敏電阻設置在敏感凸梁（2）上表面：所述的敏感芯片與下玻璃板（5）通過鍵合連接。

2.根據權利要求l所述的單凸梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的敏感凸梁（2）采用長度相等的上矩形梁、下矩形梁復合而成。

3.根據權利要求1所述的單凸梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的敏感凸梁（2）中的上矩形梁的寬度小于下矩形梁的寬度，兩者寬度之比為0.2～0.8。

4.根據權利要求l所述的單凸梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的下矩形梁的厚度與上矩形梁的厚度之比為0.2～5。

5.根據權利要求l所述的單凸梁式微機械加速度傳感器，其特征在于，所述的壓敏電阻設置為四個，放置在敏感凸梁（2）的頂部，四個壓敏電阻首尾相接構成一個正方形，正方形的四個邊分別與框架（1）的四個邊平行。

6.根據權利要求1所述的單凸梁式微機械加速度傳感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的可動部分與下玻璃板（5）之間的距離為2μm～20μm。