[發(fā)明專利]玻璃加工用感光性樹脂組合物及玻璃加工方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310270789.8 | 申請日： | 2013-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN103543606B | 公開（公告）日： | 2020-07-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 植松照博;土居香織 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京應(yīng)化工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 工用 感光性 樹脂 組合 加工 方法 | ||
1.一種玻璃加工用感光性樹脂組合物，其含有具有羥基的質(zhì)均分子量為20000以上的樹脂、選自聚乙烯微粒、聚四氟乙烯微粒、聚丙烯微粒、聚苯乙烯微粒、聚甲基丙烯酸甲酯微粒、及無機(jī)鹽微粒中的至少1種填料和含醌二疊氮基的化合物。
2.一種玻璃加工用感光性樹脂組合物，其含有具有羥基的質(zhì)均分子量為20000以上的樹脂、選自聚乙烯微粒、聚四氟乙烯微粒、聚丙烯微粒、聚苯乙烯微粒、聚甲基丙烯酸甲酯微粒、及無機(jī)鹽微粒中的至少1種填料、交聯(lián)劑和酸產(chǎn)生劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃加工用感光性樹脂組合物，其還含有聚乙烯基烷基醚作為增塑劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃加工用感光性樹脂組合物，其中，所述聚乙烯基烷基醚的質(zhì)均分子量為10000～200000。
5.一種玻璃加工方法，其包括如下工序：
樹脂層形成工序，在玻璃基板上形成包含權(quán)利要求1到4中任一項所述的玻璃加工用感光性樹脂組合物的樹脂層；
曝光工序，將所述樹脂層選擇性曝光；
顯影工序，將曝光后的所述樹脂層顯影來形成樹脂圖案；
蝕刻工序，以所述樹脂圖案作為掩模對所述玻璃基板進(jìn)行蝕刻；以及
剝離工序，剝離所述樹脂圖案。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃加工方法，其中，在所述蝕刻工序中，使用含有氫氟酸及硫酸的25℃～60℃的蝕刻液對所述玻璃基板進(jìn)行蝕刻。
7.一種玻璃加工用感光性樹脂組合物，其含有填料與流變調(diào)節(jié)劑的組合、具有羥基的質(zhì)均分子量為20000以上的樹脂和含醌二疊氮基的化合物，
所述填料選自聚乙烯微粒、聚四氟乙烯微粒、聚丙烯微粒、聚苯乙烯微粒、聚甲基丙烯酸甲酯微粒、無機(jī)鹽微粒、無機(jī)氧化物微粒、環(huán)氧微粒及碳黑，
所述流變調(diào)節(jié)劑是通過氫鍵或范德華鍵與所述填料相互作用而形成在外力的作用下易被破壞但若除去外力則可再次形成的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的成分。
8.一種玻璃加工用感光性樹脂組合物，其含有填料與流變調(diào)節(jié)劑的組合、具有羥基的質(zhì)均分子量為20000以上的樹脂和含醌二疊氮基的化合物，
所述填料選自聚乙烯微粒、聚四氟乙烯微粒、聚丙烯微粒、聚苯乙烯微粒、聚甲基丙烯酸甲酯微粒、無機(jī)鹽微粒、無機(jī)氧化物微粒、環(huán)氧微粒及碳黑，
所述流變調(diào)節(jié)劑選自高分子脲衍生物、高分子量脲改性中等極性聚酰胺、高分子量脲改性低極性聚酰胺、以及聚羧酸的酰胺中的至少一種。
9.一種玻璃加工用感光性樹脂組合物，其含有填料與流變調(diào)節(jié)劑的組合、具有羥基的質(zhì)均分子量為20000以上的樹脂、交聯(lián)劑和酸產(chǎn)生劑，
所述填料選自聚乙烯微粒、聚四氟乙烯微粒、聚丙烯微粒、聚苯乙烯微粒、聚甲基丙烯酸甲酯微粒、無機(jī)鹽微粒、無機(jī)氧化物微粒、環(huán)氧微粒及碳黑，
所述流變調(diào)節(jié)劑是通過氫鍵或范德華鍵與所述填料相互作用而形成在外力的作用下易被破壞但若除去外力則可再次形成的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的成分。
10.一種玻璃加工用感光性樹脂組合物，其含有填料與流變調(diào)節(jié)劑的組合、具有羥基的質(zhì)均分子量為20000以上的樹脂、交聯(lián)劑和酸產(chǎn)生劑，
所述填料選自聚乙烯微粒、聚四氟乙烯微粒、聚丙烯微粒、聚苯乙烯微粒、聚甲基丙烯酸甲酯微粒、無機(jī)鹽微粒、無機(jī)氧化物微粒、環(huán)氧微粒及碳黑，
所述流變調(diào)節(jié)劑選自高分子脲衍生物、高分子量脲改性中等極性聚酰胺、高分子量脲改性低極性聚酰胺、以及聚羧酸的酰胺中的至少一種。
11.根據(jù)權(quán)利要求7到10中任一項所述的玻璃加工用感光性樹脂組合物，其還含有聚乙烯基烷基醚作為增塑劑。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的玻璃加工用感光性樹脂組合物，其中，所述聚乙烯基烷基醚的質(zhì)均分子量為10000～200000。
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