[發(fā)明專(zhuān)利]用于在壓裝設(shè)備上壓裝平板式半導(dǎo)體元件的裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310270758.2
• 申請(qǐng)日: 2013-06-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103367276A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫保濤;胡家喜;李彥涌;楊進(jìn)鋒;朱武;劉少奇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 南車(chē)株洲電力機(jī)車(chē)研究所有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L23/40
• 分類(lèi)號(hào): H01L23/40
• 代理公司: 北京聿宏知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;劉華聯(lián)

1.用于在壓裝設(shè)備上壓裝平板式半導(dǎo)體元件的裝置，包括：

壓板，

設(shè)置在所述壓板上的壓緊機(jī)構(gòu)，所述壓緊機(jī)構(gòu)包括帶有端部凸緣的中心柱體，以及設(shè)置在端部凸緣和壓板之間的彈性件，所述中心柱體能借助于調(diào)節(jié)件而沿垂直于所述壓板的方向運(yùn)動(dòng)，從而將彈性件保持在設(shè)定的預(yù)緊力下，

其中，所述裝置通過(guò)壓板連接到壓裝設(shè)備上，使得所述壓緊機(jī)構(gòu)的表面與待壓裝的平板式半導(dǎo)體元件的表面接觸，并且通過(guò)釋放所述調(diào)節(jié)件來(lái)將所述彈性件的預(yù)緊力經(jīng)過(guò)所述壓緊機(jī)構(gòu)傳遞到平板式半導(dǎo)體元件上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述彈性件為一端與所述凸緣接合，另一端通過(guò)簧板固定到所述壓板的靠近所述中心柱體一側(cè)的蝶形彈簧。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件包括螺栓，所述中心柱體在靠近所述壓板的一端具有凹孔，所述凹孔在內(nèi)壁上具有螺紋結(jié)構(gòu)，所述螺栓穿透所述壓板上的開(kāi)口嚙合到所述凹孔中，以將所述中心柱體相對(duì)于所述壓板固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，在所述壓板的遠(yuǎn)離所述中心柱體的一側(cè)圍繞所述螺栓增設(shè)有環(huán)形件，所述螺栓穿透所述環(huán)形件上的通孔接合到所述中心柱體的凹孔中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述壓緊機(jī)構(gòu)還包括位于所述中心柱體的靠近所述半導(dǎo)體元件一側(cè)的并通過(guò)鋼珠與其相連的傳遞墊塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，還包括探測(cè)墊塊，其布置在所述壓緊機(jī)構(gòu)和所要壓裝的半導(dǎo)體元件之間，用于探測(cè)所述壓緊機(jī)構(gòu)和所述半導(dǎo)體元件的相互貼合的松緊程度和進(jìn)行電隔離。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述傳遞墊塊上具有內(nèi)凹球形孔，用于與所述鋼珠配合。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述鋼珠具有穿透所述傳遞墊塊的定位銷(xiāo)，所述探測(cè)墊塊具有從其內(nèi)部延伸到邊緣的凹槽，所述定位銷(xiāo)與所述探測(cè)墊塊的凹槽相適配。

9.通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行壓裝的方法，包括：

步驟1：將平板式半導(dǎo)體元件置于壓裝設(shè)備中；

步驟2：進(jìn)行預(yù)壓裝，通過(guò)壓裝機(jī)將所述彈性件的形變量控制到所需值，通過(guò)所述調(diào)節(jié)件將所述中心柱體相對(duì)于所述壓板固定，從而保持住所述彈性件的形變量，將壓裝裝置移離壓裝機(jī)；

步驟3：將壓裝裝置放置于半導(dǎo)體元件上部并通過(guò)所述壓板連接到壓裝設(shè)備上，使得所述探測(cè)墊塊能夠剛好接觸到放置于其下的功率器件串；

步驟4：釋放所述調(diào)節(jié)件，直至所述彈性件的形變壓力全部作用到所述半導(dǎo)體元件上。

10.通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置在壓裝作業(yè)中對(duì)所壓裝的半導(dǎo)體元件進(jìn)行更換的方法，包括：

步驟1：操作所述調(diào)節(jié)件，使所述彈性件的壓力全部轉(zhuǎn)移到所述調(diào)節(jié)件上；

步驟2：當(dāng)所述探測(cè)墊塊能夠自由抽動(dòng)時(shí)，停止操作所述調(diào)節(jié)件，對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行更換；

步驟3：更換完成后，再次將所述探測(cè)墊塊插入所述壓緊機(jī)構(gòu)和所述半導(dǎo)體元件之間，將所述調(diào)節(jié)件釋放，直至所述調(diào)節(jié)件不再受力。