[發明專利]單晶爐爐壓檢測報警補償系統

無效

• 申請號: 201310270635.9
• 申請日: 2013-06-30
• 公開（公告）號: CN104250847A
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發明（設計）人: 周建國;夏利榮
• 申請（專利權）人: 常州市立威刀具有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 何學成

技術領域

本發明涉及單晶爐技術領域，具體涉及一種單晶爐爐壓檢測報警補償系統。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。其爐壓需要保持在一定范圍值內，高于或低于這個范圍就會影響單晶爐的正常工作，從而恒定單晶爐的爐壓是十分重要的。

發明內容

針對上述技術問題，本發明提供一種單晶爐爐壓檢測報警補償系統，其能夠自動對爐壓進行檢測，能夠自行補償，從而保證爐壓能夠滿足單晶爐工作的需求。

實現本發明的技術方案如下：

單晶爐爐壓檢測報警補償系統，包括設置在爐體內對爐體內爐壓進行檢測的檢測器，以及能夠接收檢測器檢測結果的控制器，所述控制器連接一報警器，在爐壓出現異常時，控制器便會操作報警器發出報警信號，還包括對爐體內爐壓進行自動補償的補償裝置。

所述補償裝置包括連通爐體內的補償管道，以及與補償管道連接的爐壓補償器，在管道上設置有電磁控制閥，所述電磁控制閥與控制器連接。在檢測器檢測到爐壓高于或低于設置的范圍內時，控制器就會接收信號，從而控制器就會打開控制閥并控制補償器進行補壓，在爐壓達到設定的范圍內時，控制器便會關閉控制閥并停止補償器的工作。

所述在爐體外設置有顯示爐壓的顯示計。

采用了上述方案，檢測器實時對爐壓進行檢測并將檢測的結果即時發送給控制器，一旦檢測到爐壓高于或低于設定的范圍內時，控制器便會向報警器發出信號使報警器報警，同時控制器操作控制閥打開以及啟動補償器進行補壓，在爐壓達到設定的范圍內時，控制器便會關閉控制閥并停止補償器的工作。本發明能夠實時對爐壓進行檢測，并能夠對爐壓進行補償，從而保證爐壓能夠滿足單晶爐工作的需求。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖中，1為爐體，2為檢測器，3為控制器，4為報警器，5為補償管道，6為爐壓補償器，7為電磁控制閥。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明進一步說明。

參見圖1所示，單晶爐爐壓檢測報警補償系統，包括設置在爐體1內對爐體內爐壓進行檢測的檢測器2，檢測器2能夠抵住爐內的高溫并不會影響其檢測結果，以及位于爐體外部、接收檢測器檢測結果的控制器3，控制器3連接一報警器4，在爐壓出現異常時，控制器就會操作報警器報警，以及對爐體內爐壓進行自動補償的補償裝置，其包括連通爐體內的補償管道5，在補償管道5與爐體接觸處設置有密封件，保證爐體的密封性能，以及與補償管道連接的爐壓補償器6，在管道上設置有電磁控制閥7，電磁控制閥7與控制器3連接，在爐壓出現異常時，控制器能夠控制電磁控制閥、爐壓補償器進行工作。在爐體外設置有顯示爐壓的顯示計，操作人員可以實時了解爐壓的情況。