[發明專利]硅片自動吹干裝置無效
| 申請號： | 201310270579.9 | 申請日： | 2013-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN104251611A | 公開（公告）日： | 2014-12-31 |
| 發明（設計）人： | 周建國;夏利榮 | 申請（專利權）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分類號： | F26B15/12 | 分類號： | F26B15/12;F26B21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人： | 何學成 |
| 地址： | 213000 江蘇省常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 自動 吹干 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.硅片自動吹干裝置，其特征在于：包括支撐體、設置在支撐體上對硅片進行運輸的輸送裝置、對輸送裝置上的硅片進行吹氣的吹氣裝置，及對輸送裝置上的硅片進行檢測的檢測器，以及控制吹氣裝置的控制器，所述檢測器與控制器相連接。
2.根據權利要求1所述的硅片自動吹干裝置，其特征在于：所述輸送裝置包括設置在支撐體上的上輥軸、下輥軸以及分別設置在上輥軸、下輥軸上的上輥輪、下輥輪，在上輥輪、下輥輪之間形成輸送輥道。
3.根據權利要求1所述的硅片自動吹干裝置，其特征在于：所述吹氣裝置包括抽風機、吹風管道，抽風機的輸出端連接吹風管道，吹風管道包括位于輸送裝置上、下方的上管道、下管道，所述上管道、下管道上設置有多個出風孔。
4.根據權利要求3所述的硅片自動吹干裝置，其特征在于：所述出風孔為錐形設計。
5.根據權利要求1-4任一項所述的硅片自動吹干裝置，其特征在于：所述支撐體為上端開口的槽體。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于常州市立威刀具有限公司，未經常州市立威刀具有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310270579.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種節能殺菌烘干裝置
- 下一篇：一種硫酸胍生合成方法
