[發明專利]一種狹縫噴嘴清潔裝置

有效

• 申請號: 201310269991.9
• 申請日: 2013-06-28
• 公開（公告）號: CN103286030A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 陳暉;張志豪;王文華;林祺哲
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B05B15/02
• 分類號: B05B15/02
• 代理公司: 廣東廣和律師事務所 44298
• 代理人: 劉敏

技術領域

本發明涉及一種狹縫噴嘴清潔裝置，尤其是用于對液晶平板顯示器的光刻膠涂布的狹縫噴嘴的內部進行清潔的狹縫噴嘴清潔裝置。

背景技術

在TFT-LCD等平板顯示器的制造工藝中的光刻工序中，一般通過狹縫噴嘴進行光刻膠的涂布。在進行涂布時，使具有狹縫形狀的噴出口的長條形的狹縫噴嘴相對于玻璃基板等的涂布表面相對移動，在基板上涂覆光刻膠。狹縫噴嘴的噴出口的寬度較小(約百微米級)。在生產過程中，噴出口發生堵塞而影響涂布品質時常發生，導致縱向色不均，涂布不良。以彩色濾光片光阻為例，由于光刻膠中使用顏料分散法分散有顏料分子，因此容易干燥結塊，阻塞噴出口，影響涂布品質。

發明內容

本發明的目的在于，提供一種狹縫噴嘴清潔裝置，其可以用于狹縫噴嘴的清潔，保證狹縫噴嘴的涂布品質。

本發明通過如下技術方案實現:一種狹縫噴嘴清潔裝置，其中，所述狹縫噴嘴清潔裝置包括清掃片體及輔助插入部件，所述輔助插入部件用于將所述清掃片體導入所述狹縫噴嘴內。

作為上述技術方案的進一步改進，所述輔助插入部件吸附在所述狹縫噴嘴上。

作為上述技術方案的進一步改進，所述狹縫噴嘴包括左蓋板、右蓋板、前噴嘴半部、后噴嘴半部、流體入口，所述前噴嘴半部、所述后噴嘴半部由所述左蓋板、所述右蓋板固定在一起，所述前噴嘴半部、所述后噴嘴半部貼合而形成噴嘴腔體及噴出口，所述流體入口形成于所述前噴嘴半部上。

作為上述技術方案的進一步改進，所述輔助插入部件包括輔助插入段及固定段，所述輔助插入段包括插入段前半部及插入段后半部，所述插入段前半部及所述插入段后半部由所述固定段固定在一起，所述插入段前半部及所述插入段后半部之間形成有引導空間。

作為上述技術方案的進一步改進，所述狹縫噴嘴清潔裝置還包括彈性安裝架，所述彈性安裝架具有用于向上頂推所述輔助插入部件的多個螺旋彈簧。

作為上述技術方案的進一步改進，所述輔助插入段及所述固定段的頂部分布有多個磁鐵以便將所述輔助插入部件吸附在所述狹縫噴嘴上。

作為上述技術方案的進一步改進，所述引導空間包括位于上方的上方V型空間、位于下方的下方倒V型空間、位于所述上方V型空間與所述下方倒V型空間之間的間隔恒定空間，所述上方V型空間用于容納所述狹縫噴嘴的噴出口。

作為上述技術方案的進一步改進，所述噴出口的寬度大于所述間隔恒定空間的寬度，且所述間隔恒定空間的寬度大于所述清掃片體的厚度。

作為上述技術方案的進一步改進，所述狹縫噴嘴清潔裝置還包括清掃片體夾具，所述清掃片體夾具用于夾持所述清掃片體。

作為上述技術方案的進一步改進，所述清掃片體夾具包括夾具驅動裝置，所述夾具驅動裝置用于驅動所述清掃片體夾具沿左右方向移動。

本發明的有益效果是:本發明的狹縫噴嘴清潔裝置包括清掃片體及輔助插入部件，所述輔助插入部件用于將所述清掃片體導入所述狹縫噴嘴內,由此，可以利用輔助插入部件將清掃片體導入狹縫噴嘴內,進行狹縫噴嘴的清潔，保證狹縫噴嘴的涂布品質。

附圖說明

圖1是根據本發明的一個具體實施例的狹縫噴嘴清潔裝置的立體透視示意圖。

圖2是圖1中狹縫噴嘴的分解透視示意圖。

圖3是圖1中輔助插入部件的分解透視示意圖。

圖4是說明圖1中輔助插入部件的將清潔片體導入狹縫噴嘴的原理示意圖。

圖5是圖1中輔助插入部件的引導空間的結構示意圖。

圖6是根據本發明的另一具體實施例的狹縫噴嘴清潔裝置的立體透視示意圖。

圖7是圖6中彈性安裝架的立體透視示意圖。

圖8是圖6中清掃片體夾具的立體透視示意圖。

圖9是顯示圖6中的狹縫噴嘴清潔裝置的輔助插入過程中的側視示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的具體實施方式進行進一步的說明。

如圖1所示，本發明的狹縫噴嘴清潔裝置包括清掃片體300及輔助插入部件200，所述輔助插入部件200用于將所述清掃片體300導入所述狹縫噴嘴100內。