[發(fā)明專利]單晶爐冷卻系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310269128.3
• 申請日: 2013-06-30
• 公開（公告）號: CN104250846A
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周建國;夏利榮
• 申請（專利權(quán)）人: 常州市立威刀具有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;F27D9/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 何學成

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種能夠?qū)尉t進行冷卻并具有報警功能的單晶爐冷卻系統(tǒng)。

背景技術(shù)

單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。在單晶爐工作時，爐內(nèi)的溫度非常高，需要對其進行冷卻，其爐內(nèi)的高溫會對爐體造成損壞，因而需要對爐體進行冷卻，現(xiàn)有的冷卻結(jié)構(gòu)多數(shù)為夾層冷卻，其冷卻效果不好，同時爐體的溫度不能夠即時知曉，不能對對爐體進行冷卻，影響單晶爐的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種單晶爐冷卻系統(tǒng)，其冷卻效果好、同時能夠?qū)t體的溫度進行實時檢測，通過檢測的溫度對爐體進行冷卻，延長了單晶爐的使用壽命。

實現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

單晶爐冷卻系統(tǒng)，包括爐體，所述爐體設(shè)置有冷卻夾層，在冷卻夾層內(nèi)設(shè)置有具有進液端、出液端的冷卻管道，冷卻管道的進液端連接輸送泵、出液端連接一回收池，所述冷卻管道螺旋環(huán)繞在爐體周圍。輸送泵向螺旋冷卻管道內(nèi)對爐體進行冷卻。

所述冷卻管道與冷卻夾層內(nèi)的空隙之間有填充材料。填充材料能夠較好的傳遞冷卻液的溫度，更好的對爐體進行冷卻。

所述爐體外壁設(shè)置有對爐體溫度進行檢測的檢測器，檢測器連接一控制器，所述控制器與上述輸送泵相連接。檢測器能夠?qū)t體的外壁溫度進行實時檢測并將檢測結(jié)果傳遞給控制器，而控制器根據(jù)檢測器檢測的結(jié)果來控制輸送泵向冷卻管道內(nèi)，對爐體進行冷卻。

所述控制器還連接一溫度報警器。在檢測器檢測的爐體溫度高于設(shè)定的值時，控制器就會向報警器發(fā)送信號并報警。

采用了上述方案，檢測器對爐體外壁進行實時檢測，將檢測結(jié)果傳遞給控制器，控制器根據(jù)檢測器檢測的結(jié)果控制輸送泵進行工作，從而保證爐體的溫度始終保持在一定的范圍內(nèi)，從而保證爐體工作溫度，延長爐體使用壽命。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1為爐體，2為冷卻夾層，3為冷卻管道，4為回收池，5為輸送泵，6為檢測器，7為控制器，8為溫度報警器。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進一步說明。

參見圖1所示，單晶爐冷卻系統(tǒng)，包括爐體1，爐體1設(shè)置有冷卻夾層2，在冷卻夾層內(nèi)設(shè)置有具有進液端、出液端的冷卻管道3，冷卻管道3的進液端穿過夾層連接輸送泵5的輸出端、出液端連接一回收池4，冷卻管道3螺旋環(huán)繞在爐體周圍。冷卻管道與冷卻夾層內(nèi)的空隙之間有填充材料。爐體外壁設(shè)置有對爐體溫度進行檢測的檢測器6，檢測器6連接一控制器7，控制器7與上述輸送泵相連接。檢測器對爐體外壁進行實時檢測，將檢測結(jié)果傳遞給控制器，控制器根據(jù)檢測器檢測的結(jié)果控制輸送泵進行工作，從而保證爐體的溫度始終保持在一定的范圍內(nèi)，從而保證爐體工作溫度，延長爐體使用壽命。控制器還連接一溫度報警器8，當檢測器檢測的爐體溫度高于設(shè)定的值時，控制器就會向報警器發(fā)送信號并報警。