[發(fā)明專利]X射線圖像生成裝置及X射線圖像生成方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310269032.7
• 申請(qǐng)日: 2013-06-28
• 公開（公告）號(hào): CN103529062A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 表和彥;武田佳彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社理學(xué)
• 主分類號(hào): G01N23/04
• 分類號(hào): G01N23/04
• 代理公司: 北京瑞盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11300
• 代理人: 劉昕

1.一種X射線圖像生成裝置，其特征在于，具有：

X射線發(fā)生部，其對(duì)樣品照射大致平行的X射線；

二維檢測(cè)器，其相對(duì)于所述樣品配置于所述X射線發(fā)生部的相反側(cè)，并具有檢測(cè)所述樣品的透射圖像的檢測(cè)區(qū)域；

支承臺(tái)，其用于配置所述樣品；

工作臺(tái)，其用于搭載所述支承臺(tái)，可使所述支承臺(tái)沿所述二維檢測(cè)器的所述檢測(cè)區(qū)域的平面做面內(nèi)移動(dòng)；和

控制部，其根據(jù)所述二維檢測(cè)器檢測(cè)的所述樣品的多個(gè)透射圖像，生成合成透射圖像數(shù)據(jù)，

所述控制部拼合所述樣品的不同的多個(gè)位置的透射圖像，生成合成透射圖像數(shù)據(jù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線圖像生成裝置，其特征在于，

所述支承臺(tái)具有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)以沿著所述檢測(cè)區(qū)域的平面的方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸，使所述樣品旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至各規(guī)定數(shù)量的角度配置，

所述控制部，

在所述各規(guī)定數(shù)量的角度配置下，拼合所述樣品的不同的多個(gè)位置的透射圖像，生成合成透射圖像數(shù)據(jù)，

通過(guò)對(duì)所生成的所述規(guī)定數(shù)量的合成透射圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像重構(gòu)，生成三維X射線CT圖像。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的X射線圖像生成裝置，其特征在于，

所述工作臺(tái)使所述支承臺(tái)依次移動(dòng)，使所述樣品位于所述不同的多個(gè)位置中的任一位置，

在該位置的配置下，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使所述樣品依次旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，使所述樣品位于所述規(guī)定數(shù)量的角度配置中的任一角度配置，

在該配置下，所述二維檢測(cè)器檢測(cè)所述樣品的透射圖像，

對(duì)在各所述規(guī)定數(shù)量的角度配置下所述樣品的不同的多個(gè)位置的多個(gè)透射圖像進(jìn)行檢測(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的X射線圖像生成裝置，其特征在于，還具有：

光學(xué)攝像部，其檢測(cè)所述樣品的光學(xué)圖像；和

光學(xué)反射鏡，其配置于所述X射線發(fā)生部和所述支承臺(tái)之間，使來(lái)自所述X射線發(fā)生部的X射線向所述樣品透射，并且，反射沿所述檢測(cè)區(qū)域的平面的法線方向從所述樣品入射的光，而射入所述光學(xué)攝像部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的X射線圖像生成裝置，其特征在于，

所述光學(xué)反射鏡具有使從所述X射線發(fā)生部到二維檢測(cè)器的檢測(cè)區(qū)域的X射線通過(guò)的開口部。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的X射線圖像生成裝置，其特征在于，

所述光學(xué)反射鏡為金屬薄膜反射鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的X射線圖像生成裝置，其特征在于，

在設(shè)從所述X射線發(fā)生部到所述樣品的距離為L(zhǎng)，設(shè)從所述樣品到所述二維檢測(cè)器的距離為d時(shí)，d/L為0.1以下。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的X射線圖像生成裝置，其特征在于，

對(duì)于射入到所述樣品，貫穿所述樣品，并到達(dá)所述二維檢測(cè)器的所述檢測(cè)區(qū)域的X射線，在設(shè)從樣品的入射部位到出射部位的距離為t，設(shè)所述檢測(cè)區(qū)域的法線方向與X射線的行進(jìn)方向所成的角為θ時(shí)，t與所述二維檢測(cè)器的空間分辨率相比充分大，t·θ為所述二維檢測(cè)器的空間分辨率以下。

9.一種X射線圖像生成方法，其使用，

X射線發(fā)生部，其對(duì)樣品照射大致平行的X射線；

二維檢測(cè)器，其相對(duì)于所述樣品配置于所述X射線發(fā)生部的相反側(cè)，并具有檢測(cè)所述樣品的透射圖像的檢測(cè)區(qū)域；

支承臺(tái)，其用于配置所述樣品；

工作臺(tái)，其用于搭載所述支承臺(tái)，可使所述支承臺(tái)沿所述二維檢測(cè)器的所述檢測(cè)區(qū)域的平面做面內(nèi)移動(dòng)；和

控制部，其根據(jù)所述二維檢測(cè)器檢測(cè)的所述樣品的多個(gè)透射圖像，生成合成透射圖像，

所述X射線圖像生成方法的特征在于：

所述控制部拼合所述樣品的不同的多個(gè)位置的透射圖像，生成合成透射圖像數(shù)據(jù)。