[發(fā)明專利]金屬互連線電容結(jié)構(gòu)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310264720.4 | 申請日： | 2013-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN103325766A | 公開（公告）日： | 2013-09-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙芳芳;王偉;陳展飛 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/522 | 分類號： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬 互連 電容 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，包括：
多個電容單元，所述電容單元包括多層金屬互連層，以及連接相鄰金屬互連層之間的多個金屬連接線，每一所述金屬連接線均連接多層所述金屬互連層；所述金屬互連層之間形成有介質(zhì)層；所述金屬互連層能夠由所述介質(zhì)層隔離，組成電容；
多個電容單元連線，將所述電容單元連接在一起。
2.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬互連層中設(shè)有多個金屬線。
3.如權(quán)利要求2所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬線長度范圍是3μm～13μm，寬度范圍是0.05μm～0.13μm。
4.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電容單元的長度范圍是3μm～15μm，寬度范圍是0.05μm～0.15μm。
5.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬互連層分為兩組，分別作為電容的兩個極板。
6.如權(quán)利要求5所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬連接線為兩根。
7.如權(quán)利要求6所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，一根所述金屬連接線連接其中一個極板，另一根所述金屬連接線連接另一個極板。
8.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電容單元之間的橫向間距范圍是0.1μm～0.3μm，縱向間距范圍是0.1μm～0.3μm。
9.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電容單元的電容值范圍是1pF～5pF。
10.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線電容結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬互連線電容結(jié)構(gòu)還包括兩根電容值測試線，所述電容值測試線分別與所述電容單元的兩個電極板連接，用于檢測電容值。
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