[發(fā)明專利]可加熱自動(dòng)對(duì)心勻膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310263210.5
• 申請(qǐng)日: 2013-06-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103302002A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王凌云;陳夢(mèng)月;梁楚尉;蔡建法;周如海;杜曉輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門大學(xué)
• 主分類號(hào): B05C13/02
• 分類號(hào): B05C13/02
• 代理公司: 廈門南強(qiáng)之路專利事務(wù)所(普通合伙) 35200
• 代理人: 馬應(yīng)森

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于薄膜工藝的勻膠機(jī)，尤其是涉及一種可加熱自動(dòng)對(duì)心勻膠機(jī)。

背景技術(shù)

隨著薄膜工藝的迅速發(fā)展，旋轉(zhuǎn)涂覆式勻膠機(jī)的應(yīng)用日趨廣泛。旋轉(zhuǎn)勻膠的基片是通過(guò)帶有真空吸附通孔的圓形平盤式基片固定裝置實(shí)現(xiàn)與電機(jī)的同步高速旋轉(zhuǎn)。在每次使用勻膠機(jī)之前，都要進(jìn)行的至關(guān)重要一步就是對(duì)心，即將圓形基片的圓心與承接工件的圓形平盤的圓心對(duì)齊，使之重合，以實(shí)現(xiàn)材料在離心力作用下的均勻涂覆。這一步驟通常是手動(dòng)進(jìn)行，一般很難實(shí)現(xiàn)，需要反復(fù)調(diào)整，故要花費(fèi)大量的時(shí)間。雖然目前出現(xiàn)了一些機(jī)械式的基片固定裝置，如專利號(hào)為200920045252.0的中國(guó)實(shí)用新型專利提供了一種勻膠機(jī)基片的固定裝置，但對(duì)于如何簡(jiǎn)便而又準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)基片與平盤的圓心重合的問(wèn)題并沒(méi)有得到很好的解決。

另一方面，對(duì)于一些粘度較大、流動(dòng)性較差的材料，如厚膠、石蠟等，很難以實(shí)現(xiàn)或者無(wú)法均勻旋涂。依據(jù)流體粘度與溫度間關(guān)系，當(dāng)溫度提高時(shí)，對(duì)應(yīng)流體粘度會(huì)大幅度降低。所以就為高粘度流動(dòng)性差的材料旋涂提供了可能。但是由于光刻膠等材料往往具有較好的光敏特性，因此無(wú)法采用傳統(tǒng)的熱輻射工藝實(shí)現(xiàn)加熱。

渦流加熱是一種利用電磁感應(yīng)效應(yīng)的加熱方式，通過(guò)感應(yīng)線圈內(nèi)的金屬產(chǎn)生感生電流，實(shí)現(xiàn)電阻熱。因?yàn)槠浞墙佑|、效率高、速度快、低損耗、易控制、高加工精度等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于局部加熱，是一種適合應(yīng)用于集成于勻膠機(jī)內(nèi)的加熱方式。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供以拓寬勻膠機(jī)可旋涂材料范圍并解決手動(dòng)對(duì)心難等問(wèn)題的一種可加熱自動(dòng)對(duì)心勻膠機(jī)。

本發(fā)明設(shè)有感應(yīng)加熱控制器和自動(dòng)對(duì)心平臺(tái)；所述感應(yīng)加熱控制器安裝在自動(dòng)對(duì)心平臺(tái)上部，自動(dòng)對(duì)心平臺(tái)設(shè)有3個(gè)夾緊定位裝置，所述3個(gè)夾緊定位裝置均勻地安裝在載片臺(tái)下表面突出的環(huán)形體周圍；

所述感應(yīng)加熱控制器設(shè)有加熱蓋和渦流發(fā)生線圈，所述渦流發(fā)生線圈設(shè)在加熱蓋上；

所述載片臺(tái)上均勻設(shè)有3個(gè)導(dǎo)向槽，夾緊定位裝置一一對(duì)應(yīng)地定位在所述導(dǎo)向槽處，通過(guò)螺釘連接固定，3個(gè)夾緊定位裝置隨載片臺(tái)同步旋轉(zhuǎn)，且導(dǎo)向槽和夾緊定位裝置都指向載片臺(tái)的中心；

所述夾緊定位裝置設(shè)有互相配合的氣壓缸和活塞桿，所述3個(gè)夾緊定位裝置的無(wú)桿腔一側(cè)靠近并指向載片臺(tái)中心，而氣壓缸的有桿腔一側(cè)指向自動(dòng)對(duì)心平臺(tái)邊緣。

所述渦流發(fā)生線圈可采用螺旋形線圈，螺旋形線圈均布在加熱蓋上。

所述活塞桿可采用彎折形活塞桿，活塞桿在導(dǎo)向槽內(nèi)來(lái)回移動(dòng)以控制基片的對(duì)心。

所述氣壓缸可采用附彈簧式單活塞桿氣壓缸，在未抽真空時(shí)，彈簧彈力作用使活塞桿處于靠近載片臺(tái)邊緣的極限位置。

所述氣壓缸無(wú)桿腔一側(cè)通過(guò)真空管道與載片臺(tái)下部環(huán)形體連接，通向勻膠機(jī)馬達(dá)軸心處的真空管道。

所述3個(gè)夾緊定位裝置的3對(duì)互相配合的氣壓缸和活塞桿均為相同規(guī)格和尺寸，這樣才能夠保證勻膠機(jī)開(kāi)始工作時(shí)，真空會(huì)通過(guò)馬達(dá)的軸心和真空管道進(jìn)入氣壓缸的無(wú)桿腔，3個(gè)活塞桿實(shí)現(xiàn)等速向平臺(tái)中心移動(dòng)，從而也實(shí)現(xiàn)了基片與平臺(tái)的快速自動(dòng)而又準(zhǔn)確的對(duì)心和夾緊。

本發(fā)明利用氣動(dòng)原理，在載片平臺(tái)的下表面突出的環(huán)形體周圍均勻設(shè)置3個(gè)夾緊定位裝置，所述夾緊定位裝置為互相配合的氣壓缸和活塞桿，3個(gè)夾緊定位裝置氣壓缸有桿腔一側(cè)指向平臺(tái)邊緣，而氣壓缸的無(wú)桿腔一側(cè)靠近平臺(tái)中心。所述載片臺(tái)上均勻設(shè)置3個(gè)導(dǎo)向槽，所述夾緊定位裝置一一對(duì)應(yīng)地定位在所述導(dǎo)向槽處，通過(guò)螺釘固定，3個(gè)夾緊定位裝置跟隨載片臺(tái)同步高速旋轉(zhuǎn)。所述氣壓缸為彈簧式，即彈簧存在于無(wú)桿腔一側(cè)，初始狀態(tài)下（未抽真空時(shí)），活塞桿在彈簧彈力的作用下處于靠近平臺(tái)邊緣的極限位置。勻膠機(jī)馬達(dá)軸心設(shè)有真空管道，所述氣壓缸無(wú)桿腔一側(cè)通過(guò)真空管道與載片臺(tái)下部環(huán)形體連接，當(dāng)軸心內(nèi)抽真空的時(shí)候，氣壓缸無(wú)桿腔通過(guò)真空管道被抽真空，使無(wú)桿腔一側(cè)的氣壓低于有桿腔一側(cè)的氣壓，當(dāng)氣壓推動(dòng)力大于彈簧彈力，便推動(dòng)活塞桿向載片臺(tái)中心移動(dòng)。所述3個(gè)互相配合的氣壓缸和活塞桿采用相同規(guī)格和型號(hào)，于是當(dāng)抽真空時(shí)3個(gè)活塞桿便對(duì)稱等速地向平臺(tái)中心推進(jìn)，從而實(shí)現(xiàn)了基片與平臺(tái)的快速自動(dòng)而又準(zhǔn)確的對(duì)心和夾緊。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例整體裝配及感應(yīng)加熱控制器示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)對(duì)心平臺(tái)的仰視示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例的自動(dòng)對(duì)心平臺(tái)的俯視示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例的夾緊定位裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

以下的實(shí)施例將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明：