[發(fā)明專(zhuān)利]振動(dòng)器件、電子設(shè)備

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310262863.1
• 申請(qǐng)日: 2013-06-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103516325A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 野澤俊之
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H03H9/02
• 分類(lèi)號(hào): H03H9/02
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種振動(dòng)器件，其具備：

振子，其具有能夠移位的梁、從所述梁延伸出的梳齒狀的可動(dòng)電極、和插在所述可動(dòng)電極的梳齒狀電極之間的梳齒狀固定電極；

振蕩電路，其使所述振子進(jìn)行振蕩；以及

偏置電路，其向所述可動(dòng)電極與所述固定電極之間提供直流偏置電壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)器件，其中，

所述可動(dòng)電極包括在俯視中隔著所述梁配置在一側(cè)的梳齒狀的第1可動(dòng)電極以及配置在另一側(cè)的梳齒狀的第2可動(dòng)電極，

所述固定電極包括插在所述第1可動(dòng)電極之間的梳齒狀的第1固定電極以及插在所述第2可動(dòng)電極之間的梳齒狀的第2固定電極，

所述偏置電路具備：

第1偏置電路，其向所述第1可動(dòng)電極與所述第1固定電極之間提供直流偏置電壓；以及

第2偏置電路，其向所述第2可動(dòng)電極與所述第2固定電極之間提供直流偏置電壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)器件，其中，

所述振子具備：

所述可動(dòng)電極，在該可動(dòng)電極中，所述第1可動(dòng)電極與所述第2可動(dòng)電極電連接；以及

所述固定電極，在該固定電極中，所述第1固定電極與所述第2固定電極電絕緣。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)器件，其中，

所述振子具備：

所述可動(dòng)電極，在該可動(dòng)電極中，所述第1可動(dòng)電極與所述第2可動(dòng)電極電絕緣；以及

所述固定電極，在該固定電極中，所述第1固定電極與所述第2固定電極電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)器件，其中，

所述振子的所述梁的兩端被固定。

6.一種振動(dòng)器件，其具備：

振子，其具有梁、從所述梁延伸出的梳齒狀的可動(dòng)電極、和插在所述可動(dòng)電極的梳齒狀電極之間的梳齒狀固定電極，所述梁的一端被固定，另一端能夠移位；

振蕩電路，其使所述振子進(jìn)行振蕩；以及

偏置電路，其向所述可動(dòng)電極與所述固定電極之間提供直流偏置電壓，

所述固定電極在構(gòu)成所述可動(dòng)電極的電極的一側(cè)配置有第3固定電極。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動(dòng)器件，其中，

所述固定電極在構(gòu)成所述可動(dòng)電極的電極的另一側(cè)配置有第4固定電極，

所述第3固定電極與所述第4固定電極電絕緣，

所述偏置電路具備：

第3偏置電路，其向所述可動(dòng)電極與所述第3固定電極之間提供直流偏置電壓；以及

第4偏置電路，其向所述可動(dòng)電極與所述第4固定電極之間提供直流偏置電壓。

8.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具備權(quán)利要求1或6所述的振動(dòng)器件。