[發明專利]基板的溝槽加工方法及溝槽加工裝置

有效

• 申請號: 201310262784.0
• 申請日: 2013-06-24
• 公開（公告）號: CN103579409B
• 公開（公告）日: 2017-08-08
• 發明（設計）人: 廣野嘉文
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

1.一種基板的溝槽加工方法，其特征在于其是借由加工裝置而沿著在Y方向延伸的加工預定線在基板表面形成溝槽，該加工裝置具備：

平臺，其具有載置該基板的載置面；

頭部，其具有搖動自如地支承溝槽加工工具且在X方向延伸的搖動軸，及限制該溝槽加工工具沿著該搖動軸移動的限制機構；及

移動機構，其用以使該平臺與該頭部在水平面內在該X方向及與該X方向正交的Y方向相對性地移動；

該基板的溝槽加工方法包含：

基板載置步驟，其以使該基板的加工預定線相對于該Y方向在既定的角度范圍內傾斜的方式將該基板載置于該平臺上；

加工位置運算步驟，其對該基板的加工預定線的加工開始位置與加工結束位置進行運算；及

加工步驟，其根據經運算的該加工開始位置與該加工結束位置，一面使該溝槽加工工具對該基板在該X方向及該Y方向相對移動一面沿著該加工預定線而執行溝槽加工。

2.如權利要求1所述的基板的溝槽加工方法，其特征在于其中，

該基板載置步驟包含：

第1步驟，其將該基板載置于該平臺上；

第2步驟，其確認載置于該平臺的該基板的姿勢；

第3步驟，其判定該基板中的該加工預定線是否相對于該Y方向處于既定的傾斜角度的范圍內；及

第4步驟，其在該基板的加工預定線相對于該Y方向的傾斜角度并非該既定的傾斜角度范圍內的情形時，以使之成為該既定的角度范圍內的方式控制該基板的姿勢。

3.如權利要求2所述的基板的溝槽加工方法，其中，在該第2步驟中，拍攝載置于該平臺上的該基板的對準標記以確認該基板的姿勢。

4.一種基板的溝槽加工裝置，其特征在于其是沿著在Y方向延伸的加工預定線在基板表面形成溝槽的溝槽加工裝置，具備：

平臺，其具有載置該基板的載置面；

頭部，其具有在與該Y方向正交的X方向延伸的搖動軸，該搖動軸搖動自如地支承溝槽加工工具，且具有限制該溝槽加工工具沿著該搖動軸移動的限制機構；

移動機構，其用以使該平臺與該頭部在水平面內在該X方向及該Y方向相對性地移動；

基板姿勢確認裝置，其確認載置于該平臺上的該基板的姿勢；

基板姿勢控制機構，其控制相對于該頭部的該平臺上的基板的姿勢；及

控制手段，其根據來自該基板姿勢確認裝置的確認結果，控制該移動機構及該基板姿勢控制機構；

該控制手段具有：

加工位置運算功能，其以使該基板的加工預定線相對于該Y方向的傾斜角度成為既定的角度范圍內的方式對載置于該平臺的該基板中的該加工預定線的加工開始位置與加工結束位置進行運算；及

移動控制功能，其根據該加工位置運算功能的運算結果控制該移動機構，使該溝槽加工工具自該加工開始位置移動至該加工結束位置。

5.如權利要求4所述的基板的溝槽加工裝置，其特征在于其中，

該溝槽加工裝置進一步具備控制相對于該頭部的該平臺上的該基板的姿勢的基板姿勢控制機構；

該控制手段進一步具有：

基板姿勢判定功能，其根據該基板姿勢確認裝置所得的確認結果，判定于被載置于該平臺的該基板中，該加工預定線是否相對于該Y方向在既定的傾斜角度范圍內傾斜；及

基板姿勢控制功能，其在該基板的加工預定線相對于該Y方向的傾斜角度并非該既定的傾斜角度范圍內的情形時，控制該基板姿勢控制機構，以使該基板的加工預定線相對于該Y方向的傾斜角度成為該既定的傾斜角度范圍內的方式控制該基板的姿勢；

根據來自該基板姿勢確認裝置的確認結果，控制該基板姿勢控制機構及該移動機構。

6.如權利要求4或5所述的基板的溝槽加工裝置，其特征在于其中，該頭部具有：

基座；

保持具，其相對于該基座在上下方向移動自如地被支承，并且保持該溝槽加工工具；及

按壓構件，其以既定的按壓力將被保持于該保持具的該溝槽加工工具對該基板按壓。

7.如權利要求6所述的基板的溝槽加工裝置，其特征在于其中，該保持具具有：

保持具本體；

支承構件，其固定于該保持具本體；及

搖動構件，其被該保持具本體與該支承構件搖動自如地支承、且沿著該搖動軸的軸方向移動自如地被支承，在前端裝設有該溝槽加工工具，沿著該搖動軸的周圍搖動并取得去向移動位置與來向移動位置。

8.如權利要求7所述的基板的溝槽加工裝置，其特征在于其中，

在該保持具本體與該支承構件之間，形成有收納被該搖動軸支承的該搖動構件的空間，該限制機構由該保持具本體與該支承構件而構成。