[發明專利]具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺

有效

• 申請號: 201310261979.3
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN104139310A
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發明（設計）人: 莊運清
• 申請（專利權）人: 高明鐵企業股份有限公司
• 主分類號: B23Q1/38
• 分類號: B23Q1/38
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 王晶

技術領域

本發明涉及一種對位平臺裝置，特別涉及一種具有流體增壓緊迫定位功能的創新對位平臺。

背景技術

按，隨著高科技時代的來臨，多種制造加工的處理模式已進入奈米等級，眾多精密產品于制程中有更高更嚴苛的精度要求，尤其是光電及晶圓產品，其精密定位技術成為必備條件。

精密加工制程中，對位平臺（或稱對位滑臺）為產業界普遍采用的設備；目前現有對位平臺的典型結構形態，主要是在一活動平臺與一基座之間橫設有數組X軸向與Y軸向的螺桿導動裝置，螺桿導動裝置的組裝座部被定位于基座，螺桿導動裝置的伸縮作動端則呈滑動配合狀態連結于活動平臺；藉此，其運作時能夠透過控制螺桿導動裝置的其中單組作動或整體同動等方式，達到驅使活動平臺位移或轉動以調校加工精準度的目的。

前述對位平臺結構于使用上雖確可達到其精密位移調校的功能，但其問題點卻是出在于定位的部份，概因，現有對位平臺結構無論處于作動狀態或定止狀態時，其活動平臺的支撐力與定位性完全是仰賴螺桿導動裝置的連接關系來達成，然而，由于螺桿導動裝置與活動平臺之間呈滑動配合連接關系，此種組合狀態于二者各相連結處難免存在有配合公差，而配合公差累積的結果，勢必造成對位平臺于定止狀態時并無法達到剛性穩固定位狀態的問題，亦即對于側向作用力并無足夠的承載支撐能力，此一問題對于三軸配置形態的對位平臺而言尤為嚴重，因其活動平臺定止時，其中一導動軸呈較大自由度連結狀態，故承載支撐能力較弱；而另一種四軸配置形態現有對位平臺，其側向承載力雖優于前述三軸配置形態者，但其缺點是制造成本大幅提高，且仍舊存在組合累進公差問題而無法達到剛性穩固支撐狀態；是以綜合上揭現有對位平臺的結構設計，其加工過程中當活動平臺受力達一定程度時，往往容易產生抖振、偏移現象而嚴重影響到最終產品加工精度與質量，如此而難以符合產業界預期的高精度要求，實有必要再加以思索突破。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺。

為達到上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種具有流體增壓緊迫定位功能的對位平臺包括：

一基座，為具有一面積與厚度的座體形態，該基座包括一著置面以及一構件裝設面；

一活動平臺，設于基座的構件裝設面一間隔距離位置處，該活動平臺包括一加工臺面以及一內面；

至少兩組導動裝置，呈不同作動軸向分布形態設置連接于基座的構件裝設面與活動平臺的內面之間，導動裝置用于驅使控制活動平臺產生多方向平移調整運動；

一中空限位座，凸設定位于基座的構件裝設面中央，該中空限位座內部形成一腔室，中空限位座的端面中央則開設有一軸孔貫通該腔室；

一抵靠板，凸設定位于活動平臺的內面一間隔距離處，該抵靠板與活動平臺內面之間界定形成有一間隔空間，抵靠板具一抵靠作用面與活動平臺內面間隔相對，且抵靠板中央開設有一穿透口，又該抵靠板與中空限位座的端面之間呈相互抵靠狀態；

一工字型迫緊座，設于基座的構件裝設面與活動平臺的內面之間的中央區域，該工字型迫緊座包括平行間隔配置的一浮動盤、一迫緊盤以及垂直向連結定位于該浮動盤與迫緊盤之間中央位置的一連動軸，其中該浮動盤置于中空限位座的腔室中，且浮動盤周邊設有止密環而與腔室之間呈氣密配合關系，迫緊盤置于抵靠板與活動平臺內面之間所形成的間隔空間中，該迫緊盤具有一迫緊面與抵靠板的抵靠作用面相對應，該連動軸則穿組于中空限位座所設軸孔；

一流體增壓接口，通過工字型迫緊座的浮動盤與中空限位座的腔室之間的環狀間隙空間所相對構成；

一流體導入單元，包括設于中空限位座一側的流體壓力導入通道以及連通該流體壓力導入通道的一流體導管，其中該流體壓力導入通道內端連通流體增壓接口。

藉此創新獨特設計，使本發明對照先前技術而言，當該流體導入單元導入流體壓力令流體增壓界面之間隙膨脹時，整體工字型迫緊座會朝基座方向位移，驅使迫緊盤的迫緊面朝抵靠板的抵靠作用面產生抵緊作用，令活動平臺的定止狀態獲得一種流體增壓迫緊式的加強穩固功能與效果，進而達到增益精密對位平臺的活動平臺結構強度與穩固性、大幅提升加工精度質量且結構簡單而易于量產制造等諸多實用進步性。

附圖說明

圖1為本發明結構較佳實施例的分解立體圖。

圖2為本發明結構較佳實施例的組合立體圖。

圖3為本發明結構較佳實施例的組合剖視圖。

圖4為本發明可利用流體壓力迫緊定位的作動狀態示意圖。