[發(fā)明專利]一種圖案化的金屬導(dǎo)線和基板的組合在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310260941.4 | 申請日： | 2013-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN103715177A | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 樸弘植;李旺宇;金俸均;鄭鐘鉉;林永祐;金奎布;徐源國;申賢哲;韓筵昊;李騏范;曹三永 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/532 | 分類號： | H01L23/532;H01L29/45;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 余剛;張英 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 圖案 金屬 導(dǎo)線 組合 | ||
1.一種圖案化的金屬導(dǎo)線和基板的組合，所述基板具有在其上形成的所述金屬導(dǎo)線，所述金屬導(dǎo)線包括：
包含銦和鋅的氧化物層；以及
銅基層，設(shè)置在所述包含銦和鋅的氧化物層之上或之下，其中，所述包含銦和鋅的氧化物層的氧化鋅量等于或高于按重量計(jì)10%并且低于按重量計(jì)35%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合，其中，所述銅基層的厚度在至3μm之間，并且所述包含銦和鋅的氧化物層的厚度在至之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合，其中，所述銅基層的厚度在1μm至3μm之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合，其中，在所述銅基層之上設(shè)置所述包含銦和鋅的氧化物層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合，其中，所述包含銦和鋅氧化物層的氧化鋅量等于或高于按重量計(jì)10%并且低于按重量計(jì)35%。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合，其中，所述銅基層具有基本上梯形的橫截面輪廓，并且所述銅基層的所述橫截面輪廓的基礎(chǔ)錐角基本上大于50°。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的組合，其中，所述銅基層的所述基礎(chǔ)錐角在60°至85°之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合，其中，在所述銅基層之下設(shè)置包含銦和鋅的氧化物半導(dǎo)體層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的組合，進(jìn)一步包括設(shè)置在所述包含銦和鋅的氧化物層之下的半導(dǎo)體氧化物層，所述半導(dǎo)體氧化物層包含銦和鋅。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合，進(jìn)一步包括設(shè)置在所述銅基層之下的鈦層。
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