[發明專利]麥克風中使用的防水薄片的制造方法無效
| 申請號： | 201310256506.4 | 申請日： | 2013-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN103369450A | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發明（設計）人： | 蔡孟錦 | 申請（專利權）人： | 歌爾聲學股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R31/00 | 分類號： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327 | 代理人： | 陳英俊 |
| 地址： | 261031 山東省濰*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 麥克風 使用 防水 薄片 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種麥克風中使用的防水薄片的制造方法，包括：
a）準備普通厚度的硅片；
b）在所述硅片的一面形成多個水不浸深槽；
c）從所述硅片的與形成有多個水不浸深槽的一面相對的另一面進行減薄，直到所述多個水不浸深槽變為多個水不浸通孔。
2.如權利要求1所述的麥克風中使用的防水薄片的制造方法，還包括：在步驟c）之后，對減薄后的形成有多個水不浸通孔的硅片進行切割。
3.如權利要求1所述的麥克風中使用的防水薄片的制造方法，其中，
所述硅片的厚度在約400μm到約1200μm的范圍內。
4.如權利要求1所述的麥克風中使用的防水薄片的制造方法，其中，
所述水不浸深槽呈小孔狀和/或細線狀。
5.如權利要求4所述的麥克風中使用的防水薄片的制造方法，其中，
所述水不浸深槽的孔徑和/或線寬在約5μm到約30μm的范圍內。
6.如權利要求1所述的麥克風中使用的防水薄片的制造方法，其中，
所述水不浸深槽的深度在約60μm到約150μm的范圍內。
7.如權利要求1所述的麥克風中使用的防水薄片的制造方法，其中，
減薄后的形成有多個水不浸通孔的硅片的厚度在約50μm到約100μm的范圍內。
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