[發明專利]一種硅棒幾何尺寸測量儀

有效

• 申請號: 201310255528.9
• 申請日: 2013-06-25
• 公開（公告）號: CN103292702A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 汪威;湯亮;李曉敏;葉方平;袁雷華
• 申請（專利權）人: 湖北工業大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222
• 代理人: 魯力

1.一種硅棒幾何尺寸測量儀，其特征在于，包括固定框架（1）；固定在固定框架（1）上的標定塊校準裝置（2）、豎裝光耦（3）、硅棒保護板升降裝置、檢測平臺升降裝置、工作臺調整裝置（4）、用于控制整個硅棒幾何尺寸測量儀的工控機（5）、開關盒（6）、與工控機（5）電連接的空氣開關（7）、與工控機（5）連接的顯示裝置（8）、硅棒保護板組件、檢測平臺組件以及用于放置被測硅棒的工作臺組件；所述硅棒保護板組件由硅棒保護板升降裝置驅動并能在豎直方向作往復運動；所述檢測平臺組件由檢測平臺升降裝置驅動并能在豎直方向作往復運動；硅棒能由工作臺組件驅動下作橫向、縱向以及周向旋轉的運動。

2.根據權利要求1所述的一種硅棒幾何尺寸測量儀，其特征在于，所述檢測平臺組件包括一個檢測平臺（9）以及設置在檢測平臺（9）上的至少八臺周向設置對硅棒（10）的八個表面進行測量的檢測相機組件；所述檢測平臺升降裝置包括設置在檢測平臺（9）上的兩個檢測平臺滑輪（11）、固定在檢測平臺（9）的升降絲桿螺母（12）和與升降絲桿螺母（12）配合的升降絲桿（13）、與兩個檢測平臺滑輪（11）配合的兩個滑輪組、檢測平臺配重塊（14）、以及與檢測平臺（9）固定在一起的塑料拖鏈（15）；每個滑輪組包括固定在固定支架（1）的一個三滑輪和一個單滑輪（55）、以及固定在檢測平臺配重塊（14）上的檢測平臺配重塊滑輪（16）；所述檢測平臺滑輪（11）和對應的滑輪組由一根鋼絲纜繩串連；所述升降絲桿（13）由電機驅動。

3.根據權利要求2所述的一種硅棒幾何尺寸測量儀，其特征在于，所述工作臺組件包括工作臺立桿（17）、用于放置被檢硅棒并且立于工作臺立桿（17）上的硅棒放置臺（18）、固定在工作臺立桿（17）上的縱向調整平臺（19）、設置在縱向調整平臺（19）下方并與縱向調整平臺（19）固定的橫向調整平臺（20）、設置在橫向調整平臺（20）下方并與橫向調整平臺（20）固定的旋轉調整平臺（21）；旋轉調整平臺（21）通過工作臺支撐架（22）固定在固定框架（1）上。

4.根據權利要求3所述的一種硅棒幾何尺寸測量儀，其特征在于，所述硅棒保護板組件包括一個硅棒保護板（23）、設置在硅棒保護板（23）上的導軌以及與導軌配合能夠前后移動的硅棒移動平臺（24），所述硅棒保護板升降裝置包括第一固定框架滑輪（25）、保護板配重滑輪（26）、第一保護板滑輪（27）、第二保護板滑輪（28）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）、第三保護板滑輪（31）、第四保護板滑輪（32）、第四固定框架滑輪（33）以及固定框架單滑輪（53）；所述固定框架單滑輪（53）、第一固定框架滑輪（25）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）以及第四固定框架滑輪（33）均固定在固定框架上，所述第一保護板滑輪（27）、第二保護板滑輪（28）、第三保護板滑輪（31）、第四保護板滑輪（32）均固定在保護板上；所述保護板配重滑輪（26）固定在保護板配重塊（51）上；一條鋼絲繩經第一固定框架滑輪（25）、保護板配重滑輪（26）、第一保護板滑輪（27）、第二保護板滑輪（28）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）、第三保護板滑輪（31）、第四保護板滑輪（32）、第四固定框架滑輪（33）與電動推桿（52）連接；?另一條鋼絲繩經固定框架單滑輪（53）、第一保護板滑輪（27）、第二保護板滑輪（28）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）、第三保護板滑輪（31）、第四保護板滑輪（32）后與第四固定框架滑輪（33）連接。