[發(fā)明專(zhuān)利]一種硅棒幾何尺寸測(cè)量?jī)x

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310255528.9
• 申請(qǐng)日: 2013-06-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103292702A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪威;湯亮;李曉敏;葉方平;袁雷華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 湖北工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/00
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/00
• 代理公司: 武漢科皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42222
• 代理人: 魯力

1.一種硅棒幾何尺寸測(cè)量?jī)x，其特征在于，包括固定框架（1）；固定在固定框架（1）上的標(biāo)定塊校準(zhǔn)裝置（2）、豎裝光耦（3）、硅棒保護(hù)板升降裝置、檢測(cè)平臺(tái)升降裝置、工作臺(tái)調(diào)整裝置（4）、用于控制整個(gè)硅棒幾何尺寸測(cè)量?jī)x的工控機(jī)（5）、開(kāi)關(guān)盒（6）、與工控機(jī)（5）電連接的空氣開(kāi)關(guān)（7）、與工控機(jī)（5）連接的顯示裝置（8）、硅棒保護(hù)板組件、檢測(cè)平臺(tái)組件以及用于放置被測(cè)硅棒的工作臺(tái)組件；所述硅棒保護(hù)板組件由硅棒保護(hù)板升降裝置驅(qū)動(dòng)并能在豎直方向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述檢測(cè)平臺(tái)組件由檢測(cè)平臺(tái)升降裝置驅(qū)動(dòng)并能在豎直方向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)；硅棒能由工作臺(tái)組件驅(qū)動(dòng)下作橫向、縱向以及周向旋轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒幾何尺寸測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述檢測(cè)平臺(tái)組件包括一個(gè)檢測(cè)平臺(tái)（9）以及設(shè)置在檢測(cè)平臺(tái)（9）上的至少八臺(tái)周向設(shè)置對(duì)硅棒（10）的八個(gè)表面進(jìn)行測(cè)量的檢測(cè)相機(jī)組件；所述檢測(cè)平臺(tái)升降裝置包括設(shè)置在檢測(cè)平臺(tái)（9）上的兩個(gè)檢測(cè)平臺(tái)滑輪（11）、固定在檢測(cè)平臺(tái)（9）的升降絲桿螺母（12）和與升降絲桿螺母（12）配合的升降絲桿（13）、與兩個(gè)檢測(cè)平臺(tái)滑輪（11）配合的兩個(gè)滑輪組、檢測(cè)平臺(tái)配重塊（14）、以及與檢測(cè)平臺(tái)（9）固定在一起的塑料拖鏈（15）；每個(gè)滑輪組包括固定在固定支架（1）的一個(gè)三滑輪和一個(gè)單滑輪（55）、以及固定在檢測(cè)平臺(tái)配重塊（14）上的檢測(cè)平臺(tái)配重塊滑輪（16）；所述檢測(cè)平臺(tái)滑輪（11）和對(duì)應(yīng)的滑輪組由一根鋼絲纜繩串連；所述升降絲桿（13）由電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅棒幾何尺寸測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述工作臺(tái)組件包括工作臺(tái)立桿（17）、用于放置被檢硅棒并且立于工作臺(tái)立桿（17）上的硅棒放置臺(tái)（18）、固定在工作臺(tái)立桿（17）上的縱向調(diào)整平臺(tái)（19）、設(shè)置在縱向調(diào)整平臺(tái)（19）下方并與縱向調(diào)整平臺(tái)（19）固定的橫向調(diào)整平臺(tái)（20）、設(shè)置在橫向調(diào)整平臺(tái)（20）下方并與橫向調(diào)整平臺(tái)（20）固定的旋轉(zhuǎn)調(diào)整平臺(tái)（21）；旋轉(zhuǎn)調(diào)整平臺(tái)（21）通過(guò)工作臺(tái)支撐架（22）固定在固定框架（1）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅棒幾何尺寸測(cè)量?jī)x，其特征在于，所述硅棒保護(hù)板組件包括一個(gè)硅棒保護(hù)板（23）、設(shè)置在硅棒保護(hù)板（23）上的導(dǎo)軌以及與導(dǎo)軌配合能夠前后移動(dòng)的硅棒移動(dòng)平臺(tái)（24），所述硅棒保護(hù)板升降裝置包括第一固定框架滑輪（25）、保護(hù)板配重滑輪（26）、第一保護(hù)板滑輪（27）、第二保護(hù)板滑輪（28）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）、第三保護(hù)板滑輪（31）、第四保護(hù)板滑輪（32）、第四固定框架滑輪（33）以及固定框架單滑輪（53）；所述固定框架單滑輪（53）、第一固定框架滑輪（25）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）以及第四固定框架滑輪（33）均固定在固定框架上，所述第一保護(hù)板滑輪（27）、第二保護(hù)板滑輪（28）、第三保護(hù)板滑輪（31）、第四保護(hù)板滑輪（32）均固定在保護(hù)板上；所述保護(hù)板配重滑輪（26）固定在保護(hù)板配重塊（51）上；一條鋼絲繩經(jīng)第一固定框架滑輪（25）、保護(hù)板配重滑輪（26）、第一保護(hù)板滑輪（27）、第二保護(hù)板滑輪（28）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）、第三保護(hù)板滑輪（31）、第四保護(hù)板滑輪（32）、第四固定框架滑輪（33）與電動(dòng)推桿（52）連接；?另一條鋼絲繩經(jīng)固定框架單滑輪（53）、第一保護(hù)板滑輪（27）、第二保護(hù)板滑輪（28）、第二固定框架滑輪（29）、第三固定框架滑輪（30）、第三保護(hù)板滑輪（31）、第四保護(hù)板滑輪（32）后與第四固定框架滑輪（33）連接。