[發(fā)明專利]用于減少NFT熱突出的方法和系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310254614.8
• 申請日: 2013-06-25
• 公開（公告）號: CN103514894A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S·M·坦納;Y·胡
• 申請（專利權(quán)）人: 西部數(shù)據(jù)（弗里蒙特）公司
• 主分類號: G11B5/60
• 分類號: G11B5/60
• 代理公司: 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 趙蓉民

1.一種提供用于能量輔助磁記錄即EAMR換能器的近場換能器即NFT的方法，所述方法包括：

形成具有盤片和針腳的NFT；

沉積基本上覆蓋所述NFT的電介質(zhì)層；

移除一部分所述電介質(zhì)層，使得電介質(zhì)層具有在其中的孔，所述孔暴露所述針腳；以及

在大于所述EAMR換能器的預(yù)期工作溫度的溫度下將所述EAMR換能器退火。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述溫度大于150°C。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述溫度不超過200°C。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中將所述EAMR換能器退火的步驟進一步包括：

在所述溫度下，將所述EAMR換能器退火至少一個小時且不超過十六個小時。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中EAMR換能器是襯底上的多個EAMR換能器之一，且其中將所述EAMR換能器退火的步驟進一步包括：

將所述襯底在所述溫度下退火，使得所述多個換能器被退火。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其進一步包括：

將所述襯底分成多個長形條，所述EAMR換能器位于所述多個長形條的一個長形條上；

研磨所述長形條；

將所述長形條退火，使得所述針腳的一部分從研磨的表面突出；以及

在將所述長形條退火的步驟后，移除所述NFT的所述針腳的所述部分。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中移除所述針腳的所述部分的步驟進一步包括：

對所述長形條執(zhí)行額外的研磨。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，在所述退火步驟后，所述針腳的一部分至少突出到所述孔中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其進一步包括：

移除所述針腳的所述部分。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中移除所述針腳的步驟進一步包括：

研磨所述EAMR換能器。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中移除所述電介質(zhì)層的所述部分的步驟進一步包括：

離子銑至少所述電介質(zhì)層的所述部分。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述EAMR換能器位于長形條上，所述長形條包括至少一個額外的EAMR換能器，所述方法進一步包括：

將長形條退火，使得所述針腳的部分突出；以及

研磨所述長形條，使得針腳的所述部分被移除。

13.一種具有空氣軸承表面即ABS的EAMR換能器，其被配置為在操作期間接近介質(zhì)，所述EAMR換能器包括：

近場換能器即NFT，其用于將能量聚焦到所述介質(zhì)的區(qū)域上，所述NFT具有接近所述ABS的盤片和針腳，在所述EAMR換能器的操作期間，所述針腳突出不超過一納米；

寫磁極，其被配置為寫入所述介質(zhì)的區(qū)域；以及

用于激勵所述寫磁極的至少一個線圈。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的EAMR換能器，其中在所述EAMR換能器的操作期間，所述針腳突出不超過半納米。