[發(fā)明專利]承載裝置及其載臺(tái)平整度的調(diào)節(jié)方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310254431.6
• 申請(qǐng)日: 2013-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN104252051A
• 公開（公告）日: 2014-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江志民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 上海波拓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種承載裝置，尤其是一種能夠?qū)崟r(shí)自適應(yīng)調(diào)整載臺(tái)平整度的承載裝置及其調(diào)節(jié)方法。

背景技術(shù)

目前，在現(xiàn)有的液晶面板的生產(chǎn)工藝中，特別是在前段基板的生產(chǎn)過(guò)程中，經(jīng)常需要針對(duì)基板進(jìn)行各種電性或者物理缺陷的檢測(cè)，所以在一般的檢測(cè)機(jī)臺(tái)中通常會(huì)設(shè)置一個(gè)承載裝置，以承載基板供檢測(cè)設(shè)備對(duì)其進(jìn)行不良的檢測(cè)，如圖1A、1B所示，分別為現(xiàn)有技術(shù)中承載裝置的俯視與側(cè)視示意圖。現(xiàn)有技術(shù)中的承載裝置主要包括載臺(tái)10、基座20與驅(qū)動(dòng)部40，載臺(tái)10設(shè)置于基座20上，用以承載基板30，且驅(qū)動(dòng)部40固設(shè)于基座20上，其還連接該載臺(tái)10，用以驅(qū)動(dòng)載臺(tái)10可自由的在平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。不過(guò)，在實(shí)際生產(chǎn)中，由于載臺(tái)自重的關(guān)系，所以其邊緣或者角落的位置會(huì)出現(xiàn)下垂翹曲變形的現(xiàn)象，因此，這種現(xiàn)象的發(fā)生就直接影響了載臺(tái)10承載面11的平整度，進(jìn)而會(huì)間接的造成檢測(cè)機(jī)臺(tái)的誤檢。所以，為了改善上述情況，如圖1A、1B所示的，在基座20上會(huì)設(shè)置若干組出風(fēng)單元，本案例中以兩組為例，在圖1A中，當(dāng)載臺(tái)10處于實(shí)線位置時(shí)，對(duì)應(yīng)載臺(tái)10四個(gè)角落的位置，在基座20上設(shè)置有一組出風(fēng)單元，其包含四個(gè)出風(fēng)口21，該四個(gè)出風(fēng)口21用以對(duì)載臺(tái)10的背面12吹氣以補(bǔ)正載臺(tái)10在角落處的下垂變形量，從而改善載臺(tái)10的承載面11的平整度；同樣的，當(dāng)載臺(tái)10旋轉(zhuǎn)至如圖1A中虛線位置時(shí)，同樣對(duì)應(yīng)載臺(tái)10四個(gè)角落的位置，在基座20上設(shè)置有另一組出風(fēng)單元，其包含四個(gè)出風(fēng)口22，同理，該四個(gè)出風(fēng)口22也是用以對(duì)載臺(tái)10的背面12吹氣以補(bǔ)正此時(shí)載臺(tái)10在角落處的下垂變形量，從而改善載臺(tái)10的承載面11的平整度。

如上述的改善方案，雖然其在一定程度上改善了載臺(tái)10的承載面11的平整度，但其也存在一定的缺陷：首先，上述結(jié)構(gòu)很容易因?yàn)闅鈮涸吹牟环€(wěn)定而導(dǎo)致出風(fēng)單元的吹氣效果不均勻穩(wěn)定，從而造成補(bǔ)正誤差；其次，載臺(tái)10在旋轉(zhuǎn)到非上述實(shí)線或虛線對(duì)應(yīng)位置時(shí)，該出風(fēng)單元無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)載臺(tái)10的吹氣補(bǔ)正；此外，由于上述方案利用的是吹氣的方式來(lái)改善載臺(tái)10的平整度，所以在一定程度，無(wú)法對(duì)吹氣效果進(jìn)行細(xì)部的調(diào)節(jié)，即調(diào)節(jié)誤差會(huì)比較大。因此，基于現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，在實(shí)際生產(chǎn)中，很需要設(shè)計(jì)一款可以準(zhǔn)確調(diào)整載臺(tái)平整度的承載裝置。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，故本發(fā)明提供了一種能夠?qū)崟r(shí)自適應(yīng)調(diào)整載臺(tái)平整度的承載裝置及其調(diào)節(jié)方法。

本發(fā)明提供了一種承載裝置，用于承載基板，其特征在于該承載裝置包括：載臺(tái)，具有第一表面和第二表面，該第一表面用于承載該基板；基座，該載臺(tái)設(shè)置于該基座上，該基座具有第三表面，且該第二表面與該第三表面相對(duì)設(shè)置；至少一組電磁鐵模組，每一電磁鐵模組包括相對(duì)設(shè)置的第一電磁鐵組和第二電磁鐵組，該第一電磁鐵組與該第二電磁鐵組通電會(huì)形成互斥力，該第一電磁鐵組設(shè)置于該第二表面上，該第二電磁鐵組設(shè)置于該第三表面上；至少一感測(cè)模組，設(shè)置于該第二表面及該第三表面的其中之一上，每一感測(cè)模組用以偵測(cè)該第二表面上與該感測(cè)模組對(duì)應(yīng)的第一位置與該第三表面的實(shí)際垂直間距；以及邏輯控制部，與該至少一感測(cè)模組以及該至少一組電磁鐵模組電性連接，該邏輯控制部接收該至少一感測(cè)模組偵測(cè)到的實(shí)際垂直間距，并比較該實(shí)際垂直間距與預(yù)設(shè)值的大小，并根據(jù)比較結(jié)果控制對(duì)應(yīng)電磁鐵模組的該互斥力以調(diào)整該實(shí)際垂直間距使其等于該預(yù)設(shè)值。

作為可選的方案，該承載裝置還包括驅(qū)動(dòng)部，固設(shè)于該基座上，且該驅(qū)動(dòng)部連接該載臺(tái)，以提供一驅(qū)動(dòng)力使得該載臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置于該基座上。

作為可選的方案，該至少一感測(cè)模組設(shè)置于該第二表面的邊緣或角落。

作為可選的方案，該第一電磁鐵組的面積等于該第二電磁鐵組在該第二表面上的垂直投影面積。

作為可選的方案，所有第二電磁鐵組或所有第一電磁鐵成環(huán)狀或圓形或矩形設(shè)置。

作為可選的方案，該感測(cè)模組是光電傳感器。

作為可選的方案，該承載裝置還包括模數(shù)轉(zhuǎn)換器和數(shù)模轉(zhuǎn)換器，該模數(shù)轉(zhuǎn)換器電性耦接于該至少一感測(cè)模組與該邏輯控制部，該數(shù)模轉(zhuǎn)換器電性耦接于該邏輯控制部與該至少一組電磁鐵模組，其中，該模數(shù)轉(zhuǎn)換器用以將該至少一感測(cè)模組偵測(cè)到的該實(shí)際垂直間距轉(zhuǎn)換成第一數(shù)字信號(hào)并傳輸給該邏輯控制部；該數(shù)模轉(zhuǎn)換器用以將該邏輯控制部輸出的第二數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)以控制對(duì)應(yīng)電磁鐵模組的該互斥力的大小。

作為可選的方案，該載臺(tái)的該第一表面上還具有氟素涂層。

作為可選的方案，該基板為液晶顯示面板或者觸控面板。

此外，本發(fā)明還提供了一種載臺(tái)平整度的調(diào)節(jié)方法，其特征在于該調(diào)節(jié)方法包括：