[發(fā)明專利]高頻探針卡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310253453.0
• 申請日: 2013-06-24
• 公開（公告）號: CN103543304A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張嘉泰;楊惠彬
• 申請（專利權(quán)）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李涵

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于一種探針結(jié)構(gòu)的技術(shù)，尤其是指一種高頻探針卡。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片進(jìn)行測試時，測試機(jī)必須通過一探針卡(probe?card)接觸待測物(device?under?test,DUT)，例如：芯片，并通過信號傳輸以及電性信號分析，以獲得待測物的測試結(jié)果。探針卡通常包含若干個尺寸精密的探針相互排列而成，每一個探針通常會對應(yīng)芯片上特定的電性接點(diǎn)，當(dāng)探針接觸待測物上的對應(yīng)電性接點(diǎn)時，可以確實(shí)傳遞來自測試機(jī)的測試信號；同時，配合探針卡及測試機(jī)的控制與分析程序，達(dá)到量測待測物的電性特征的目的。

然而，隨著電子元件愈趨高速、高頻的運(yùn)作條件下，電子元件往往有高標(biāo)準(zhǔn)的電性規(guī)格，如元件運(yùn)作條件、操作頻率與信號傳輸特性等，故電測探針卡在設(shè)計上需著重測試條件、測試頻寬與測試信號傳輸?shù)耐暾浴檫_(dá)到有效傳輸高頻測試信號，所選用的探針卡必須具有與檢測機(jī)及待測電子物件相匹配的阻抗，如此方能準(zhǔn)確地反應(yīng)出通電測試結(jié)果。

現(xiàn)有技術(shù)中，如圖1所示的中國臺灣專利公開號第200829926號所揭露的一種光學(xué)偵測裝置1，其具有一光學(xué)鏡頭10以及一探針卡11。該探針卡11具有一基板110、一中介板111以及一電路板112，該基板110、中介板111以及該電路板112上分別具有相互對應(yīng)的通孔113，以提供該光學(xué)鏡頭10的光學(xué)信號通過。該基板110上具有多個探針114，每一個探針114貫穿該基板110，經(jīng)由該中介板111的通孔，而再度貫穿該電路板112，而與該電路板112的表面相電性連接。然而，在該技術(shù)中，由于電路板112需要額外進(jìn)行加工以產(chǎn)生可以讓探針114貫穿的通孔或開槽，因此會額外增加制作所需程序，進(jìn)而增加制造的成本與困難。

綜合上述，因此亟需一種具有與檢測機(jī)及待測電子物件相匹配的阻抗的高頻探針結(jié)構(gòu)以及制作簡易的高頻探針卡。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一目的在于提供一種高頻探針卡，其是應(yīng)用于測試探針卡，以維持高頻電測信號的阻抗，并且可以達(dá)到高品質(zhì)傳送高頻電測信號的效果，并有效應(yīng)用于芯片電測工程。

本發(fā)明的一目的在提供一種高頻探針卡的鏡頭調(diào)整機(jī)構(gòu)，通過一位置調(diào)整機(jī)構(gòu)所具有的螺牙以及鏡頭容置座頂部至少一個調(diào)整槽的設(shè)置，再通過調(diào)整治具來調(diào)整鏡頭容置座的位置，以簡化調(diào)整鏡頭容置座位置的方式。

為了上述目的，本發(fā)明提供一種高頻探針卡，包括：

一至少一基板，每一基板具有至少一第一通孔；

一中介板，其設(shè)置于該至少一基板上，該中介板具有至少一第二通孔分別與該至少一第一通孔相對應(yīng)；

一電路板，其設(shè)置于該中介板上，該電路板具有一第三通孔，其與該至少一第一與至少一第二通孔相對應(yīng)；以及

至少一個探針模塊，其分別設(shè)置于該至少一第一通孔外圍的該至少一基板上，該至少一探針模塊更包括有：

至少一N型接地探針；

至少一高頻信號針，其貫穿對應(yīng)的該至少一基板與該中介板，經(jīng)由該第三通孔而與該電路板頂面上所具有的高頻信號電性接點(diǎn)相電性連接，每一高頻信號針更包括有：

一N型信號探針；以及

一第一導(dǎo)體，其與該N型信號探針相對應(yīng)，該第一導(dǎo)體與該N型接地探針相電性連接，該N型信號探針與該第一導(dǎo)體之間設(shè)置一絕緣層。

所述的高頻探針卡，其更具有一絕緣套筒，其中該第一導(dǎo)體為一導(dǎo)線，該絕緣層包覆于該導(dǎo)線與該N型信號探針相對應(yīng)的表面上，該N型信號探針及該導(dǎo)線套設(shè)于該絕緣套筒中，該導(dǎo)線的一端則與該N型接地探針電性連接，該導(dǎo)線的另一端則與該電路板的頂面上所具有的接地電性接點(diǎn)相電性連接，該絕緣層使該N型信號探針與該第一導(dǎo)體之間保持一絕緣距離，該絕緣距離小于該絕緣套筒的內(nèi)部孔徑，該絕緣距離最小值等于該絕緣層厚度。

所述的高頻探針卡，該至少一探針模塊分別具有一第二導(dǎo)體，該第二導(dǎo)體上對應(yīng)該N型接地探針以及該第一導(dǎo)體的位置分別具有一電性連接點(diǎn)，每一電性連接點(diǎn)分別與該N型接地探針以及該第一導(dǎo)體的一端電性連接，每一第一導(dǎo)體的另一端則與該電路板的頂面上所具有的接地電性接點(diǎn)相電性連接。

所述的高頻探針卡，該第二導(dǎo)體具有一第一表面以及與該第一表面相對應(yīng)的一第二表面，每一電性連接點(diǎn)形成于該第一表面上而與對應(yīng)的第一導(dǎo)體的一端相連接，每一N型信號探針的延伸部通過一絕緣結(jié)構(gòu)抵靠于該第二導(dǎo)體的第二表面上，該第一導(dǎo)體的另一端則與該電路板的頂面上所具有的接地電性接點(diǎn)相電性連接，每一N型信號探針具有：