[發(fā)明專利]基于等離子體透鏡陣列的非制冷紅外焦平面探測器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310251677.8 | 申請日： | 2013-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN103335728A | 公開（公告）日： | 2013-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 魚衛(wèi)星;曹水艷;王泰升;盧振武;孫強(qiáng);王成 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01J5/12 | 分類號： | G01J5/12;G01J5/08;H01L27/16 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210 | 代理人： | 王丹陽 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 等離子體 透鏡 陣列 制冷 紅外 平面 探測器 | ||
1.基于等離子體透鏡陣列的非制冷紅外焦平面探測器，其特征在于，包括讀出電路(5)，所述讀出電路(5)上的銦柱(4)，所述銦柱(4)上的傳感器陣列(3)，所述傳感器陣列(3)上的紅外諧振腔吸收器(2)，所述紅外諧振腔吸收器(2)上的金屬光柵等離子體透鏡陣列(1)，所述金屬光柵等離子體透鏡陣列(1)由緊密排列的等離子體透鏡構(gòu)成，每個等離子體透鏡由被刻蝕的中心小孔和多個寬度相同的同心圓環(huán)組成，同心圓環(huán)的周期固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子體透鏡陣列的非制冷紅外焦平面探測器，其特征在于，當(dāng)探測器使用波段為8μm-12μm時，所述等離子體透鏡的厚度為300nm-500nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子體透鏡陣列的非制冷紅外焦平面探測器，其特征在于，當(dāng)探測器使用波段為8μm-12μm時，所述中心小孔的直徑為1μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子體透鏡陣列的非制冷紅外焦平面探測器，其特征在于，當(dāng)探測器使用波段為8μm-12μm時，所述同心圓環(huán)的個數(shù)為3-5個。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子體透鏡陣列的非制冷紅外焦平面探測器，其特征在于，當(dāng)探測器使用波段為8μm-12μm時，所述同心圓環(huán)的周期為8-12μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于等離子體透鏡陣列的非制冷紅外焦平面探測器，其特征在于，當(dāng)探測器使用波段為8μm-12μm時，所述寬度為2-3μm。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所，未經(jīng)中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310251677.8/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
