[發明專利]一種OLED面板減薄裝置及其使用方法有效
| 申請號: | 201310251326.7 | 申請日: | 2013-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN103332867A | 公開(公告)日: | 2013-10-02 |
| 發明(設計)人: | 向欣;任海;成洛賢;夏維高 | 申請(專利權)人: | 四川虹視顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | C03C15/00 | 分類號: | C03C15/00 |
| 代理公司: | 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
| 地址: | 611731 四川省成*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 oled 面板 裝置 及其 使用方法 | ||
技術領域
本發明屬于有機電致發光顯示技術領域,具體涉及一種OLED面板減薄裝置及其使用方法。
背景技術
智能手機和平板電腦的不斷發展要求顯示屏更輕更薄。受制造工藝限制,玻璃基板厚度已經無法做到更薄了,因此無論是液晶面板還是OLED面板都只能要在對位貼合或者封裝完成后,對面板進行減薄以達到更輕更薄的質量要求。相對于液晶面板的減薄,OLED面板在減薄過程中的制造難度較大,因為在OLED面板的減薄過程中,OLED器件的預留檢測電極很容易被刻蝕液腐蝕,從而導致器件的損壞。目前,OLED面板刻蝕減薄時,電極保護的通常做法是:進行刻蝕前,使用硅膠封堵預留電極在面板上的檢測孔,待刻蝕完成后再剔除這些硅膠。采用這種做法的缺點是后期很難將硅膠完全清除,而OLED的電流檢測精度等級為納安級別,在如此高精度的測量條件下,極小的殘膠微粒也能使測量結果產生嚴重偏差,造成對OLED器件合格與否的誤判,影響前面工序制程工藝參數的設定,進而影響整個工藝制程的穩定性。
發明內容
本發明的目的在于克服現有技術存在的上述問題,提供一種既能有效保護電極又不會引入雜質的OLED面板減薄裝置及其使用方法。
為解決上述技術問題,本發明采用以下技術方案:
一種OLED面板減薄裝置,用于實現OLED面板的減薄,包括刻蝕液噴淋系統,還包括氮氣噴管、石英隔板和加熱器,所述氮氣噴管與OLED面板的上表面成一夾角且不與OLED面板接觸,OLED面板上每個預留電極測試孔的位置處均安裝一個氮氣噴管;所述石英隔板平行安裝于OLED面板的背面,所述石英隔板背離OLED面板的一側設有位置與OLED面板上預留電極測試孔位置對應的安裝槽;所述加熱器安裝于所述安裝槽內;所述刻蝕液噴淋系統的噴淋管位于OLED面板上方且不與OLED面板接觸。
進一步地,所述氮氣噴管與OLED面板的夾角范圍為45°~50°。
進一步地,所述氮氣噴管與OLED面板的上表面間的夾角使氮氣氣流的方向與刻蝕液液流的方向相反。
進一步地,所述氮氣噴管噴出的氮氣在面板上形成的氮氣保護區域的面積大于預留電極測試孔的面積。
進一步地,所述預留電極測試孔的形狀為橢圓形。
進一步地,所述氮氣噴管與OLED面板上表面的距離為檢測孔長軸長度的0.5~1.5倍。
進一步地,所述氮氣噴管噴出的氮氣的純度為99.999%、氣壓為0.25MPa~0.35MPa。
進一步地,所述氮氣噴管的材質為SUS316L。
進一步地,所述石英隔板上設有與升降設備配合的隔板臺階面和用于安裝螺栓的沉孔臺階面。
進一步地,所述加熱器為恒溫加熱器。
進一步地,所述恒溫加熱器為PTC恒溫加熱器。
進一步地,所述OLED面板減薄裝置還包括OLED面板托架和氮氣噴管托架,OLED面板托架和氮氣噴管托架可鎖緊固定,二者的位置通過自動控制裝置進行控制。
一種所述OLED面板減薄裝置的操作方法,包括以下步驟:
步驟1:將安裝有恒溫加熱器的石英隔板安裝于基臺上,使沉孔臺階面與基臺的臺階面對準,然后用螺栓將石英隔板于基臺鎖緊;
步驟2:將OLED面板安裝于面板托架上,將裝有氮氣噴管的氮氣噴管托架安裝于OLED面板上方,調整位置使氮氣噴管與OLED面板之間的相對位置滿足預設要求,然后將面板托架與氮氣噴管托架鎖緊固定得到組合托架;
步驟3:通過自動控制裝置移動組合托架,使OLED面板平行位于石英隔板的上方;
步驟4:安裝刻蝕液噴淋系統;
步驟5:打開恒溫加熱器,進行預升溫,待溫度達到設定值后,開啟恒溫模式;
步驟6:打開氮氣噴管閥門,緩慢升壓,在達到設定氣壓值后開啟刻蝕噴淋系統,刻蝕液從刻蝕液噴流管中流出并對OLED面板進行刻蝕減?。?/p>
步驟7:刻蝕完成后,關閉刻蝕噴淋系統;
步驟8:保持氮氣打開狀態,通過自動控制裝置移動組合托架,使OLED面板離開石英隔板,并關閉恒溫加熱器;
步驟9:待面板溫度降至常溫后,對OLED面板噴淋純水,噴淋一段時間后關閉純水,進而關閉氮氣,完成OLED面板的減薄工藝。
其中,噴淋純水是為了清除殘留的刻蝕液,先降至常溫是因為刻蝕后面板溫度較高,防止接觸純水發生龜裂。
與現有技術相比,本發明的有益效果是:
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