[發明專利]氣體反應連續腔及氣體反應方法

在審

• 申請號: 201310249985.7
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN104233213A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 曾昭隆;廖科峰;邱文鼎;趙子銘;黃世壬;汪宇炎;黎勝;何文福
• 申請（專利權）人: 生陽新材料科技（寧波）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 廣東國欣律師事務所 44221
• 代理人: 李文

1.一種氣體反應連續腔，其特征在于，包含有：

至少三腔室及至少四隔離裝置，各個該腔室位于二該隔離裝置之間，藉以使該數個腔室能呈氣密狀態；以及

一輸送裝置，位于該數個腔室及該數個隔離裝置內，該輸送裝置具有一前端、一后端以及能供該隔離裝置穿過的至少四空隙，該輸送裝置用以設置一受反應物，并帶動該受反應物朝向該前端移動進而通過該數個腔室；

其中，該數個腔室包含有依序排列的一預熱腔室、一反應腔室及一冷卻腔室，該預熱腔室、該反應腔室及該冷卻腔室分別設置一位于該輸送裝置上方的上加熱器，用以朝向該受反應物的一頂面作用而調整該受反應物的溫度，該反應腔室及該冷卻腔室分別具有一反應氣體輸入口。

2.根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該反應腔室更設置一遮蓋裝置，該遮蓋裝置包含有一頂高單元以及一設于該頂高單元的蓋體，該蓋體能受該頂高單元帶動而于一頂高位置與一遮蓋位置之間移動，該蓋體位于該頂高位置時與該輸送裝置相隔可供該受反應物通過的距離，該蓋體位于該遮蓋位置時蓋設于該受反應物的頂面，且該蓋體與該受反應物的頂面之間形成一反應空間。

3.根據專利權利要求2所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該遮蓋裝置的蓋體的材質為石英玻璃。

4.根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔，其特征在于，各個該隔離裝置包含有一氣密閥門及一風刀單元二者至少其中之一。

5.根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該輸送裝置包含有數個平行排列且能旋轉的圓柱。

6.根據專利權利要求5所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該數個圓柱的材質為石英陶瓷。

7.根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該預熱腔室、該反應腔室及該冷卻腔室更分別設置一位于該輸送裝置下方的下加熱器，各個該下加熱器透過該輸送裝置的空隙而朝向該受反應物的一底面作用而調整該受反應物的溫度。

8.根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該輸送裝置亦能帶動該受反應物朝向該后端移動。

9.根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該反應腔室及該冷卻腔室之間更有另一反應腔室。

10.根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔，其特征在于，該反應腔室及該冷卻腔室之間更有另一冷卻腔室。

11.一種使用根據專利權利要求1所述的氣體反應連續腔的氣體反應方法，其特征在于，包含有下列步驟：

a)將一受反應物設置于該輸送裝置，該受反應物的頂面具有反應材料；

b)在該預熱腔室內將該受反應物加熱至第一溫度；

c)使該受反應物進入該反應腔室，該反應腔室內設有反應氣體；

d)將該受反應物加熱至一能使該反應材料產生氣體反應的第二溫度；

e)使該受反應物進入該冷卻腔室，該冷卻腔室內設有反應氣體；以及

f)將該受反應物冷卻至第三溫度。

12.根據專利權利要求11所述的氣體反應方法，其特征在于，該冷卻腔室內的反應氣體濃度小于該反應腔室內的反應氣體濃度。

13.根據專利權利要求11所述的氣體反應方法，其特征在于，該受反應物在該步驟a)與該步驟b)之間受該輸送裝置帶動而反復通過位于該氣體反應連續腔的外部與該預熱腔室之間的隔離裝置，藉以反復進出該預熱腔室。

14.根據專利權利要求11所述的氣體反應方法，其特征在于，該步驟c)與該步驟d)之間更包含有一步驟，系將一遮蓋裝置的蓋體蓋設于該受反應物的頂面；該步驟d)與該步驟e)之間更包含有一步驟，使該遮蓋裝置的蓋體離開該受反應物的頂面。