[發明專利]一種線性蒸發源

無效

• 申請號: 201310248645.2
• 申請日: 2013-06-21
• 公開（公告）號: CN103290365A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 廖良生;丁磊;周旻;陳敏;周東營;李楊帆
• 申請（專利權）人: 蘇州方昇光電裝備技術有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;陳忠輝

1.一種線性蒸發源，用于大面積制造平板顯示器和照明面板，其特征在于：包括線性蒸發源的主體(3)及設置于線性蒸發源的主體上方的蓋板，所述主體(3)一體成型；在所述主體(3)內部兩端對稱開設有凹槽(2)、所述凹槽內設有蒸發元件構成蒸發單元；所述兩個凹槽(2)之間位于主體(3)下方設有加熱元件(1)；所述蓋板上開設有一排通孔(5)構成噴嘴，所述蓋板與所述主體間螺紋連接。

2.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述凹槽(2)寬度為所述主體(3)寬度的1/8-1/5。

3.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述凹槽為石英槽，其內設有蒸發元件構成蒸發單元。

4.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述加熱元件(1)為電熱絲加熱器，所述電熱絲加熱器與上方的主體抵觸。

5.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述主體(3)兩端開設有螺孔(4)，與所述螺孔對應在所述蓋板上也開設有螺孔，與所述螺孔配合還設有螺栓，所述主體與蓋板間經螺栓及螺孔連接構成所述的螺紋連接。

6.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述通孔(5)孔徑為0.5-5mm，所述通孔長度占蓋板長度的2/5-4/5，在所述通孔上方還設有擋板。

7.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述通孔下端與所述主體上端（7）間的距離1-3cm。

8.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述主體(3)及蓋板外部設有保溫板(8)。

9.根據權利要求1所述的一種線性蒸發源，其特征在于：所述主體下方還設有水冷機構。